[发明专利]图案形成装置

权利要求书

1.一种图案形成装置，其特征在于，

具有：

基板保持装置，其用于将基板保持为水平姿势，

喷出头部，其与所述基板保持装置所保持的所述基板的表面相向配置，用于喷出包含用于形成图案的材料的涂敷液，

移动装置，其通过使所述基板保持装置所保持的所述基板与所述喷出头部进行相对移动，来使所述喷出头部沿着所述基板的表面在规定的扫描移动方向上进行扫描移动；

在所述喷出头部上设置有内部积存所述涂敷液的积液部、用于喷出所述涂敷液的喷出口、从所述积液部向所述喷出口供给所述涂敷液的涂敷液供给路径，

在所述喷出头部的下部设置有喷出口配设面和与所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，所述喷出口配设面在所述扫描移动方向上的所述基板相向面的后方侧端部与所述基板相向面相连接，而且离该后方侧端部越远则离所述基板表面越远；

所述喷出口设置在所述喷出口配设面上的与所述基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，所述涂敷液供给路径的侧壁面及所述喷出口一体形成为一个构件。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述涂敷液供给路径的侧壁面、所述基板相向面及所述喷出口配设面一体形成。

3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于，所述喷出头部的内部形成为筒状的中空部，该中空部构成所述积液部，所述中空部的壁面与所述涂敷液供给路径的侧壁面、所述基板相向面及所述喷出口配设面一体形成。

4.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述喷出口与所述基板相向面之间的距离为0。

5.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，沿着与所述扫描移动方向垂直的宽度方向排列有多个所述喷出口配设面，在各个所述喷出口配设面上分别设置有所述喷出口。

6.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，在所述喷出口配设面上，沿着与所述扫描移动方向垂直的宽度方向排列有多个所述喷出口。

7.如权利要求5或6所述的图案形成装置，其特征在于，沿着所述宽度方向等间隔地配置有多个所述喷出口，所述基板相向面上的在所述宽度方向上位于最外侧的所述喷出口的外侧的区域的宽度比相互相邻的所述喷出口之间的间隔小。

8.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述喷出口配设面与所述基板表面之间的夹角在30度以上且60度以下。