[发明专利]板材平坦度矫正设备及其操作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种液压板材平坦度矫正设备及其操作方法。

背景技术

通常靶材组合是由符合溅射性能的靶材和具有一定强度的背板构成。靶材自身体积较大，且容易变形破碎，为了能使靶材很好地固定在设备上，通常将靶材焊接到背板后再安装到设备上。背板起到支撑固定作用，并具有传导热量的功效。在溅射过程中，靶材组合通常在200°C至500°C的温度条件下工作。工作时，靶材组合的一侧充以冷却水强冷，而另一侧则处于10^-9Pa的高真空环境下，因而靶材组合两侧存在巨大的压力差。在如此恶劣的工作环境下，背板易发生变形。另外，在反复使用过程，由于不正确的操作、移动和材质老化等原因，也会导致背板变形。如果将背板变形的靶材组合安装到设备上，使用中就可能导致靶材脱离背板，造成机台内异常放电，微尘数量超标等问题，严重的造成产品和设备的报废。因而，在焊接之前对靶材组合的背板进行矫正是十分必要的。

虽然现在国内外靶材组合加工厂商大部分都有背板矫正用的油压设备，但由于这些油压设备仅仅采用单柱下压方式，基本上只能对中小型靶材组合(面积500mm×500mm以下)所使用的背板进行矫正。

目前液晶显示面板市场上32英寸、42英寸和50英寸等大型液晶显示面板逐渐成为消费主流。液晶显示面板尺寸的增大要求液晶显示面板制作过程中用到的靶材组合的尺寸相应的增大，因而要求背板的尺寸也增大。大尺寸的背板在使用过程中会发生各种复杂的变形，例如鼓起、扭曲等变形。为了将靶材组合良好的固定在设备上，对靶材背板的平坦度要求也越来越高。利用现有矫正设备对大型背板(面积在500mm×500mm以上)进行矫正，矫正后平坦度仅能达到1.0mm以上，而大型背板对平坦度要求是在0.5mm以下，现有矫正设备不能满足大型背板平坦度所需要求。同时，现有设备施压位置不可调整，使用现有设备和技术对靶材组合的背板进行矫正时，需要频繁的移动背板的位置，而大型背板的自重较大（100kg以上），在移动过程中存在人员安全隐患，同时存在对背板表面造成划伤，碰伤等危险。

发明内容

有鉴于此，发明人提供一种矫正设备，以解决现有技术无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正靶材背板复杂变形的问题。

本发明提供一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括：

液压控制系统；

矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；

上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；

施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。

可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱都包括有细段和粗段，所述细段和所述粗段以密封、可滑动的方式套合，并且所述细段和所述粗段内部中空连接形成体积可变的腔体以便液体压入和抽出；所述细段侧部带有侧壁导管；所述侧壁导管连接至所述液压控制系统。

可选的，所述上板设置有位于其内部边缘的三根固定横梁和连接于所述固定横梁之间的一根滑动横梁；三根所述第一施压柱通过滑动装置各自与一根所述固定横梁连接，使得所述第一施压柱可沿其所连接的所述固定横梁的轴向运动；所述第二施压柱通过滑动装置与所述滑动横梁连接，使得所述第二施压柱既能够沿所述滑动横梁的轴向运动，又能够随所述滑动横梁的滑动方向运动。

可选的，所述上板通过多个立柱与所述矫正台固定连接。

可选的，所述多个立柱分散设置在所述矫正台的边角区域。

可选的，所述矫正面通过所述矫正空间的侧面暴露在外，所述矫正空间的侧面为连接所述矫正台与所述上板的侧面。

可选的，所述矫正台固定于底座上。

可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱的所述细段和所述粗段的外形为圆柱形或者四方柱形。

可选的，所述上板内部边缘还有一根固定横梁，该固定横梁与另外三根所述固定横梁首尾相连形成稳定架构。

本发明还提供了一种如上所述的板材平坦度矫正设备的操作方法，其特征在于，包括：

将被矫正板材放置于所述矫正面；

移动至少一根所述施压柱，使其位于所述被矫正板材上方合适位置，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱下压，固定所述被矫正板材；