[发明专利]一种原子力显微镜的进针方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜的进针方法，其特征在于，所述的进针方法包括以下步骤：

1）通过控制器（1）对压电陶瓷扫描器（6）施加满量程输入电压，控制压电陶瓷扫描器（6）的Z方向伸到最长位置；

2）以步进电机（7）带动样品（3）自下向上运动进针；

3）当光电传感器（5）检测到从探针（2）反射的激光光斑偏移电压大于等于参考点（8）的电压时，由控制器（1）施加给压电陶瓷扫描器（6）最小输入电压，压电陶瓷扫描器（6）Z方向缩到最短，同时停止步进电机（7）运动。

2.按照权利要求1所述的原子力显微镜的进针方法，其特征在于，所述的步骤1）中，所述的控制器（1）对压电陶瓷扫描器（6）施加的满量程输入电压为100~400V。

3.按照权利要求1所述的原子力显微镜的进针方法，其特征在于，所述的步骤3）中，所述的参考点（8）的电压为300mV至1V。

4.按照权利要求1所述的原子力显微镜的进针方法，其特征在于，所述的步骤3）中，控制器（1）施加给压电陶瓷扫描器（6）最小输入电压为0V。

5.按照权利要求1所述的原子力显微镜的进针方法，其特征在于，所述的步骤2）中，步进电机（7）带动样品（3）自下向上运动的速度为50~100um/s。