[发明专利]压电振动元件、压电振子及其制造方法、频率稳定方法

权利要求书

1.一种压电振动元件，具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板、和形成于该压电基板面上的金属膜，其特征在于：所述金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜覆盖。

2.一种压电振动元件，具有压电基板、和形成于该压电基板面上的金属膜，其特征在于：所述金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜覆盖，由所述膜覆盖金属膜的大致整个表面，使得即便在未被该膜覆盖的金属膜表面上再形成膜，谐振频率的降低量也不足1ppm。

3.一种压电振子，其特征在于，具有：权利要求1或2所述的压电振动元件；和气密性密封该压电振动元件的容器。

4.一种压电振子，其特征在于，具有：权利要求1或2所述的压电振动元件；和容器，该容器在使用硅类导电性粘接剂保持该压电振动元件的状态下收纳该压电振动元件并在惰性气体中进行气密性密封。

5.一种压电振荡器，其特征在于：

在权利要求3或4所述的容器的内部或外部配置振荡电路部件。

6.一种压电振动元件的频率稳定方法，其特征在于：

通过将在由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板面上具有金属膜的压电振动元件配置在环状二甲基聚硅氧烷蒸气的气氛中，使所述环状二甲基聚硅氧烷分子化学吸附在所述金属膜表面上，形成该环状二甲基聚硅氧烷分子的膜。

7.一种压电振子，利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内，该压电振动元件具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板、和形成于该压电基板面上的金属膜，其特征在于：在气氛气体中露出的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜覆盖。

8.一种压电振子，利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内，该压电振动元件具有压电基板、和形成于该压电基板面上的金属膜，其特征在于：在气氛气体中露出的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的单分子膜覆盖，并由所述单分子膜覆盖金属膜的大致整个表面，使得即便在未被该膜覆盖的金属膜表面上再形成单分子膜，谐振频率的降低量也不足1ppm。

9.根据权利要求8所述的压电振子，其特征在于：

所述单分子膜占所述金属膜整个表面的面积相当于该金属膜整个表面的100%时的谐振频率与大气中的目标频率一致。

10.一种压电振子，其特征在于：

将权利要求1或2所述的压电振动元件气密性密封在容器内。

11.一种压电振子，其特征在于：

在使用硅类导电性粘接剂来保持权利要求1或2所述的压电振动元件的状态下收纳该压电振动元件并在惰性气体气氛中进行气密性密封。

12.一种压电振荡器，其特征在于：

在权利要求7、8、9、10或11中任意一项所述的容器的内部或外部配置振荡电路部件。

13.一种压电振动元件的频率稳定方法，其特征在于：

在将在由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板面上具有金属膜的压电振动元件保持在容器内的状态下，配置在环状二甲基聚硅氧烷蒸气的气氛中，由此使所述环状二甲基聚硅氧烷分子化学吸附在露出于气氛气体中的金属膜表面上，形成该环状二甲基聚硅氧烷分子的单分子膜。

14.根据权利要求13所述的压电振动元件的频率稳定方法，其特征在于：

所述单分子膜覆盖金属膜的大致整个表面，使得即便在未被该单分子膜覆盖的金属膜表面上再形成膜，谐振频率的降低量也不足1ppm。

15.一种压电振动元件的频率稳定方法，其特征在于：

通过向利用硅类粘接剂保持了在由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板面上形成有金属膜的压电振动元件的容器内，滴下环状二甲基聚硅氧烷液并密封该表面安装容器，使所述环状二甲基聚硅氧烷分子化学吸附在露出的金属膜表面上，形成该环状二甲基聚硅氧烷分子的膜。

16.根据权利要求15所述的压电振动元件的频率稳定方法，其特征在于：

所述单分子膜覆盖金属膜的大致整个表面，使得即便在未被该单分子膜覆盖的金属膜表面上再形成膜，谐振频率的降低量也不足1ppm。