[发明专利]有机发光二极管的薄膜成形方法及设备无效
申请号: | 201210264096.3 | 申请日: | 2012-07-27 |
公开(公告)号: | CN102760845A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 赵小虎 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 欧阳启明 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光二极管 薄膜 成形 方法 设备 | ||
【技术领域】
本发明涉及显示器生产技术领域,特别是涉及一种有机发光二极管显示器的薄膜成形方法及设备。
【背景技术】
有机电激光显示器(Organic Electroluminesence Display, OELD)是新一代显示装置,其一般是使用有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)作为发光显示组件。有机发光二极管是通过将有机发光材料夹在透明阳极和金属反射阴极之间,对有机发光材料施加电压来进行发光。由于有机电激光显示器不需要液晶跟传统的背光模组,可以制造的比较轻薄,比起其它类型的平板显示器件,OLED消耗的电力较少,且OLED可以在宽的温度范围内工作,且制造成本较低,因此得到越来越广泛的应用。而且设置不同颜色的有机发光材料,可以实现不同色彩的显示。
请参阅图1,图1为现有OLED制造工艺技术中分子薄膜的形成过程示意图。
其中,在真空环境下,通过加热设备11(譬如坩埚)对有机材料12进行高温加热,有机材料12受热后气化为气态有机分子13,气态有机分子13朝向透明基底14的表面运动。当气态有机分子13与透明基底14接触后冷凝形成固态的分子薄膜15,该分子薄膜15内包括固态有机分子151。
气态有机分子13在朝向所述透明基底14运动过程中,由于气态有机分子13运动方式不规则,使得各气态有机分子13的偏向迥异,当气态有机分子13与透明基底14接触形成固态有机分子151后,该固态有机分子151随机堆积,其偏向也各不相同,导致OLED 载流子迁移率过低。
现有技术中大多是通过对固态有机分子通过化学方式进行修饰,以使得固态有机分子的偏向一致,进而提高固态有机分子的成膜特性,但是该种方式花费时间多、效率低下,而且成本较高。
综上,需要解决现有技术中存在的技术问题。
【发明内容】
本发明的一个目的在于提供一种有机发光二极管的薄膜成形方法,以解决现有技术中对固态有机分子进行修饰的方式花费时间多、效率低下、成本较高的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明构造了一种有机发光二极管的薄膜成形方法,包括步骤:
通过加热设备加热有机材料,以将所述有机材料气化为气态有机分子,并朝向基底的表面运动;
通过电场产生设备在基底的表面产生一电场,所述电场使得所述气态有机分子的偏向一致;
偏向一致的气态有机分子接触至所述基底的表面,凝固形成固态有机分子,该固态有机分子形成分子薄膜,其中所述分子薄膜内的固态有机分子的偏向一致。
在本发明一实施例中:在所述电场作用下,所述气态有机分子的长轴与所述电场方向的夹角在0度至90度之间。
在本发明一实施例中:所述气态有机分子的长轴与所述电场方向平行。
在本发明一实施例中:所述分子薄膜为有机发光层。
在本发明一实施例中:所述加热设备为坩埚。
在本发明一实施例中:所述电场产生设备包括相互平行的第一电极和第二电极,在加电压的情况下,所述第一电极和所述第二电极在基底的表面产生所述电场。
本发明的另一个目的在于提供一种有机发光二极管的薄膜成形设备,以解决现有技术中对固态有机分子进行修饰的方式花费时间多、效率低下、成本较高的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明构造了一种有机发光二极管的薄膜成形设备,包括:
加热设备,用于对有机材料加热,以将所述有机材料气化为气态有机分子,其中该气态有机分子朝向基底的表面运动;
电场产生设备,用于在基底的表面产生一电场,其中该电场使得所述气态有机分子的偏向一致,偏向一致的气态有机分子接触至所述基底的表面,冷凝形成固态的分子薄膜,所述分子薄膜内固态有机分子的偏向一致。
在本发明一实施例中:在所述电场作用下,所述气态有机分子的长轴与所述电场方向的夹角在0度至90度之间。
在本发明一实施例中:所述气态有机分子的长轴与所述电场方向平行。
在本发明一实施例中:所述电场产生设备包括相互平行的第一电极和第二电极,在加电压的情况下,所述第一电极和所述第二电极在基底的表面产生所述电场。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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H01L51-54 .. 材料选择