[发明专利]一种基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构有效
| 申请号： | 201210263411.0 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102983088A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 杨志军;陈新;陈新度;杨海东;王晗;吴小洪;曹水亮;黄武龙;周维波 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 内置 位移 传感器 电机 粘片机焊头 机构 | ||
1.一种基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构，其特征在于包括有伺服电机(1)、摆臂(2)、音圈电机(3)、焊头吸嘴(14)，其中带动摆臂(2)往复旋转、使装设在摆臂上的焊头吸嘴(14)对准取晶或固晶位置的伺服电机(1)的输出轴与摆臂(2)连接，音圈电机(3)固定在摆臂(2)上，完成取晶或固晶动作的焊头吸嘴(14) 与音圈电机(3)的输出轴连接。
2.根据权利要求1所述的基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构，其特征在于上述音圈电机(3)包括有音圈电机外壳(4)、音圈电机磁轭(5)、永久磁铁(6)、音圈电机线圈(7)、音圈电机导向轴(9)、圆筒式外电容极板(11)、圆筒式内电容极板(12)、音圈电机线圈支架(13)、焊头吸嘴(14)，音圈电机导向轴(9)的两端支承在音圈电机磁轭(5)的两端，音圈电机线圈支架(13)套装在音圈电机导向轴(9)上，音圈电机线圈(7)装设在音圈电机线圈支架(13)上，永久磁铁(6)装设在音圈电机线圈(7)的外侧，音圈电机磁轭(5)装设在永久磁铁(6)的外侧，且在音圈电机磁轭(5)的中心内孔上嵌有两个圆筒形外电容极板(11)，与音圈电机导向轴(9)上嵌有的圆筒式内电容极板(12)形成差分电容位移传感器，焊头吸嘴(14)装设在音圈电机导向轴(9)的伸出端。
3.根据权利要求2所述的基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构，其特征在于上述音圈电机线圈支架(13)装在音圈电机导向轴(9)上并由卡环(8)紧固。
4.根据权利要求2所述的基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构，其特征在于上述音圈电机导向轴(9)通过滑套(10)支承在音圈电机磁轭(5)上。
5.根据权利要求1至4任一项所述的基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构，其特征在于上述伺服电机(1)固定在固定架上，音圈电机(3)安装在摆臂(2)上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
