[发明专利]掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件

说明书

本申请是申请日为2005年11月17日、申请号为200510123318.X、题为“掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于沉积有机电致发光(EL)装置中的薄膜的掩模组件以及一种使用该掩模组件的掩模框组件。

背景技术

自发射的有机电致发光(EL)装置提供等离子体显示面板(PDP)的优点，例如视角宽、对比度高和响应速度快。因此，有机EL装置被认为是下一代平板显示装置。典型地，有机EL装置包括阳极、阴极和在这两个电极之间具有发光层的有机层。由于有机层易受湿度的影响而不能以通常的光刻方法来形成，所以通过沉积的方式来形成有机层。

图1是用于沉积有机EL装置中包括的薄膜的传统的掩模框组件的分解透视图。

参照图1，传统的掩模10由金属薄板11形成并包括多个掩模图案单元12。掩模图案单元12使得在母板(未示出)上能够制造包括有机EL装置的多个单元装置。各掩模图案单元12与单元装置对应。各掩模图案单元12包括与将沉积在母板上的单元装置的形状和图案对应的多个开口12a。

如图1中的箭头所指，通过在x方向和y方向上施加拉力将掩模10固定在框20上。框20包括左右支撑条21、上下支撑条22和开口23。

当掩模10固定在框20上时，应当使拉力均匀地施加到掩模10，而且开口12a的宽度应当保持在预定的公差内。

即使当掩模固定在框上时，按照传统设计的掩模的重力也会使其下垂。为了防止掩模下垂，在掩模上施加拉力，这会导致框20的左右支撑条21向内弯曲，上下支撑条22向外弯曲，如图2所示。也有可能，左右支撑条21会向外弯曲，上下支撑条22会向内弯曲。

如上所述，即使当掩模10固定在框20上并施加均匀的拉力时，开口12a的形状也会扭曲。这会在形成于基板上的单元装置的电极图案(未示出)与掩模图案单元12的开口12a之间产生误差。

为了解决上面的问题，韩国公布的第2003-0046090号和第2003-0093959号专利公开了一种用于沉积有机EL装置的薄膜的掩模框组件，其中，图案掩模分为多个单位图案掩模，分开的单位图案掩模的两端被固定到框，并在框上施加拉力。

根据传统的掩模框组件，分开的单位图案掩模被焊接到框上，以防止掩模图案单元的开口由于拉力而变形。然而，在坚固性方面和在固定到框上的相邻的单位图案掩模之间保持期望的间隙方面仍存在问题。

发明内容

本发明提供了一种掩模组件以及一种使用该掩模组件的掩模框组件，其中，该掩模组件通过将单位图案掩模附于开口掩模上而能够保持单位图案掩模之间的间隙和坚固性，该开口掩模包括在行或列上的单元装置处的开口。

根据本发明的一方面，提供了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，该掩模组件包括：开口掩模，包括在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，包括多个单位图案掩模，各单位图案掩模的两端固定在开口掩模的行方向或列方向上，从而使拉力施加到单位图案掩模，其中，单位图案掩模包括与开口掩模的多个第一开口对应的多个掩模图案单元。

单位图案掩模可包括与开口掩模的多个第一开口中排列在行方向上的第一开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在开口掩模的列方向上排列且在列方向上具有长边的多个第二开口。掩模图案单元可包括多个第二开口，所述第二开口的图案与平板显示器的薄膜的图案相同。

单位图案掩模可形成为带状，并在开口掩模的行方向上附于开口掩模上。单位图案掩模可包括与开口掩模的第一开口中排列在行方向上的第一开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在列方向上延长且在行方向上排列的多个槽。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模框组件，该掩模框组件包括：框，包括第一开口；第一掩模，包括排列在第一开口内的多个第二开口；第二掩模，包括多个单位图案掩模，所述单位图案掩模的两端在第一掩模的列或行方向上固定到第一掩模上，用于使拉力施加到第二掩模，其中，第二掩模包括与第一掩模的第二开口对应的多个掩模图案单元。

第二掩模可包括与第一掩模的第二开口中排列在第一掩模的行方向上的第二开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在第一掩模的列方向上延长且在第一掩模的行方向上排列的多个第三开口。所述各掩模图案单元可包括多个第三开口，所述第三开口的图案与平板显示器的薄膜的图案相同。