[发明专利]一种缓蚀剂残余浓度在线光电检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂残余浓度在线光电检测装置，是由进液管、分离器、过滤器、洗液槽、洗液阀、进样阀、蠕动泵、中央处理器、电池、通讯端口、氙灯、单色器、流动比色池、二极管阵列光电转换器、模数转换器、废液槽构成；且由进液管通过管线连接分离器、过滤器、进样阀、蠕动泵形成取样机构；由带有电池的中央处理器通过电缆连接模数转换器、通讯端口、流动比色池形成检测机构；中央处理器通过电缆与进样阀、蠕动泵、洗液阀相连接，蠕动泵输入管线通过洗液阀连接一洗液槽，流动比色池通过管线连接一废液槽；其特征是：蠕动泵输出管线直接伸入流动比色池内，中央处理器通过电缆与氙灯及单色器、二极管阵列光电转换器相连接。

2.一种缓蚀剂残余浓度在线光电检测方法，包括紫外分光光度法、背景扣除算法和微处理器数据分析系统，其特征是：在紫外分光光度法中采用背景扣除算法，将检测液中干扰物的吸收峰进行自动扣除，进而计算得到透射比、吸光度值、波长值，通过插值分析计算出缓蚀剂浓度。

3.根据权利要求1所述的缓蚀剂残余浓度在线光电检测装置，其特征是：所述的氙灯为小功率高压脉冲氙灯，其光源是通过C-T单色器形成单色光源，并导入流动比色池。

4.根据权利要求1或3所述的缓蚀剂残余浓度在线光电检测装置，其特征是：采用二极管阵列光电转换器作为光敏器件代替转动光栅。

5.根据权利要求2所述的缓蚀剂残余浓度在线光电检测方法，其特征是：对紫外区无特征吸收峰的季铵盐和有机磷酸酯缓蚀剂，是在分离水样中加入10~100mg/L茜素红或曙红Y、或刚果红显色剂与之反应，形成紫外特征吸收峰，再通过标准曲线推算出其浓度的。