[发明专利]一种光学邻近矫正装置及矫正方法

权利要求书

1.一种光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述光学邻近效应矫正装置包括一图形预处理模块，该图形预处理模块包括图形叠加单元、输出单元和判断单元，所述图形叠加单元对一关键器件图形和一虚拟器件图形进行叠加并将叠加图形通过所述输出单元输出给所述判断单元。

2.如权利要求1所述的光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述图形叠加单元在进行图形叠加后，还包括对叠加图形的分层上色，该分层上色分为当叠加图形中有重叠部分时，则将叠加图形分为只包括关键器件图形的第一色、只包括虚拟器件图形的第二色和包括重叠区域的第三色；当叠加图形中没有重叠部分时，则将叠加图形表示为同一颜色。

3.如权利要求2所述的光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述判断单元根据该叠加图形的上色情况，得出是否存在重叠的判断结果。

4.如权利要求1所述的光学邻近效应矫正装置，其特征在于：光学邻近效应矫正装置进一步包括报警单元，当所述判断单元的判断结果为存在重叠时，该报警单元发出一提示警报，以提示人员停止光学邻近效应矫正。

5.如权利要求1所述的光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述关键器件图形和虚拟器件图形为CAD格式文件或GDS格式文件。

6.一种光学邻近效应矫正方法，该方法使用权利要求1至5任意一项所述的光学邻近效应矫正装置对一目标图形进行矫正，其特征在于包括步骤：

根据工艺规格确定光刻工艺参数；

根据所述光刻工艺参数确定光学邻近矫正模型，建立光学邻近矫正的运算程序；

对关键器件图形和虚拟器件图形进行叠加处理，并对叠加后的图形进行是否有重叠的判断；

对上述判断结果为否的叠加图形进行所述光学邻近矫正的运算程序，得到该叠加图形的矫正图形。

7.如权利要求6所述的光学邻近效应矫正方法，其特征在于：当所述判断结果为是时，进一步包括步骤：

通过警报提示人员停止所述光学邻近效应矫正，

重新设计虚拟器件图形，并重复上述图形叠加处理步骤及判断步骤，直至该虚拟器件图形与所述关键器件图形没有重叠为止。

8.如权利要求6所述的光学邻近效应矫正方法，其特征在于：所述关键器件图形和虚拟器件图形进行叠加处理进一步包括对叠加后的图形进行分层上色的处理，该分层上色处理分为：当叠加图形中有重叠部分时，则将叠加图形分为只包括关键器件图形的第一色、只包括虚拟器件图形的第二色和包括重叠区域的第三色；当叠加图形中没有重叠部分时，则将叠加图形表示为同一颜色。