[发明专利]曝光机对位修复系统及方法无效
| 申请号: | 201210261507.3 | 申请日: | 2012-07-26 |
| 公开(公告)号: | CN102768475A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
| 发明(设计)人: | 李炬;李松凌;王金鹏;肖丽;王安建;佘瑞峰 | 申请(专利权)人: | 四川聚能核技术工程有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 李世喆 |
| 地址: | 621700 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 曝光 对位 修复 系统 方法 | ||
1.曝光机对位修复系统,其特征在于,包括上载物玻璃、下载物玻璃、图像获取装置、步进电机和处理装置;所述处理装置分别与所述步进电机和图像获取装置连接;所述步进电机还与所述上载物玻璃或下载物玻璃连接;
所述上载物玻璃用于:放置上胶片;
所述下载物玻璃用于:放置下胶片;
所述图像获取装置用于:获取同时含有上胶片的中心与下胶片的中心的图像;并将所述图像发送至处理装置;
所述处理装置用于:将对所述图像进行分析,得到所述上胶片的中心与所述下胶片的中心之间的水平位置偏差值;将所述水平位置偏差值与设定值进行比较,当所述水平位置偏差值大于所述设定值时,向步进电机发送移动指令;
所述步进电机用于:根据该移动指令带动与其连接的上载物玻璃或所述下载物玻璃向使水平位置偏差值缩小的方向移动。
2.如权利要求1所述的曝光机对位修复系统,其特征在于,所述监视装置为CCD图像传感器。
3.如权利要求1所述的曝光机对位修复系统,其特征在于,所述监视装置设置在上载物玻璃的上方或下载物玻璃的下方。
4.如权利要求1所述的曝光机对位修复系统,其特征在于,还包括输入装置;所述输入装置与所述处理装置连接;
所述输入装置用于:接收用户输入的设定值,并将该设定值发送至处理装置;
所述处理装置进一步用于:根据当前接收的设定值更新所保存的设定值。
5.如权利要求4所述的曝光机对位修复系统,其特征在于,还包括显示装置;所述显示装置与所述输入装置连接;
所述输入装置进一步用于:将所述设定值发送至显示装置;
所述显示装置用于:显示所接收到的设定值。
6.曝光机对位修复方法,其特征在于,基于权利要求1至5中任意一项所述的曝光机对位修复系统,包括下列步骤:
所述图像获取装置获取同时含有上胶片的中心与下胶片的中心的图像;并将所述图像发送至处理装置;
所述处理装置对所述图像进行分析,得到所述上胶片的中心与所述下胶片的中心之间的水平位置偏差值;
将所述水平位置偏差值与设定值进行比较,当发现所述水平位置偏差值大于所述设定值时,向步进电机发送移动指令;
所述步进电机接收所述移动指令,并根据该移动指令带动与其连接的上载物玻璃或所述下载物玻璃向使水平位置偏差值缩小的方向移动。
7.如权利要求6所述的曝光机对位修复方法,其特征在于,所述处理装置对所述图像进行分析,得到所述上胶片的中心与所述下胶片的中心之间的水平位置偏差值的步骤具体为:
所述处理装置计算出所述图像中上胶片的中心与下胶片的中心之间间隔的像素数;
根据所述图像获取装置距所述上胶片或下胶片的距离,将所述像素数换算为所述上胶片的中心与所述下胶片的中心之间的水平位置偏差值。
8.如权利要求7所述的曝光机对位修复方法,其特征在于,所述移动指令为脉冲信号,所述向步进电机发送移动指令的步骤具体为:
根据预先输入的所述步进电机的参数以及所述水平位置偏差值计算出所需发送的脉冲信号的数量及频率;
向所述步进电机发送该数量、该频率的脉冲信号。
9.如权利要求6所述的曝光机对位修复方法,其特征在于,当还包括输入装置时,所述将所述水平位置偏差值与设定值进行比较的步骤进一步包括:
输入装置接收用户输入的设定值,并将该设定值发送至处理装置;
根据当前接收的设定值更新所保存的设定值;
将所述水平位置偏差值与更新后的设定值进行比较。
10.如权利要求6至9中任意一项所述的曝光机对位修复方法,其特征在于,所述设定值为10~20μm。
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