[发明专利]小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构

权利要求书

1.一种小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构，包括聚光镜（1）、入射针孔（2）、准直镜（3）、聚焦镜（6）；所述准直镜3和聚焦镜6均采用球面镜；其特征在于还包括中阶梯光栅（4）、交叉色散棱镜（5）、柱面镜（7）和面阵探测器（8）；所述聚光镜（1）将入射光束聚焦到入射针孔(2)，从入射针孔(2)出射的光束照射准直镜(3)，准直镜(3)反射的平行光直接入射到中阶梯光栅(4)表面，中阶梯光栅(4)衍射的光束经交叉色散棱镜(5)表面反射后照到聚焦镜(6)上，聚焦镜(6)反射的汇聚光经过柱面镜(7)消色散后由面阵探测器(8)接收。

2.根据权利要求1所述的小型中阶梯光栅光谱仪的光路结构，其特征在于所述准直镜（3）和聚焦镜（6）的曲率半径均为200.76mm，离轴角分别为5.2°、8.63°，焦距均为100mm；中阶梯光栅（4）采用光栅常数d为1/54.49mm的反射式刻划中阶梯光栅，入射角为46°，光栅偏转角为γ=3°；交叉色散棱镜（5）由半顶角10°的熔石英构成，入射角为21.01°；面阵探测器（8）采用e2v背照式CCD47-10AIMA芯片。