[发明专利]一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具及其应用有效
申请号: | 201210257912.8 | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN102808175A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 王三胜;张丽 | 申请(专利权)人: | 北京鼎臣超导科技有限公司 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;H01L39/24 |
代理公司: | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人: | 姜荣丽 |
地址: | 100206 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 大面积 双面 超导 薄膜 夹具 及其 应用 | ||
1.一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:由主夹具和副夹具构成;
所述主夹具由圆形夹具及圆筒形托杆A构成,二者固定连接;其中圆形夹具上半圆的内环缘上布设有两对成对的固定爪A;圆形夹具下半圆的厚度比上半圆薄,下半圆内圆环缘上布设有两个成单的固定爪B,下半圆侧面上有一凹槽;所述的副夹具由半圆形槽及圆筒形托杆B构成,二者固定连接;半圆形槽内圆环缘上布设有两个固定爪C;
所述的圆筒形托杆B的内径比圆筒形托杆A的外径大;当所述的圆筒形托杆A从半圆型槽端插入圆筒形托杆B内,所述的圆形夹具的下半圆刚好嵌入副夹具的半圆型槽内,主夹具中圆形夹具下半圆上成单的固定爪B与副夹具中半圆形槽内圆环缘上的固定爪C组成一对上下完全对称的固定爪;圆筒形托杆A上的固定通孔A和圆筒形托杆B上的固定通孔B重合。
2.根据权利要求1所述的一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述的主夹具和副夹具通过固定通孔A和固定通孔B固定到电机上,由电机带动夹具绕其轴线匀速旋转或做往复运动。
3.根据权利要求1所述的一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述的圆筒形托杆B上的固定通孔B,在一侧的固定通孔B的两侧设有两个完全相同的长方体立柱,主夹具和副夹具安装在电机上,长方体立柱镶嵌到电机上的固定槽内。
4.根据权利要求1所述的一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述的两个成单的固定爪B和所述的成对的固定爪A的大小形状完全相同;成对的固定爪A中的两个固定爪大小形状完全相同且上下对称排布;副夹具上的两个固定爪C与主夹具中的固定爪A和固定爪B大小形状完全相同,且固定爪B的上平面与固定爪A上的下方的固定爪的上平面位于同一平面内,固定爪C的上平面与圆形夹具中固定爪A上侧的固定爪的上平面位于同一平面上。
5.根据权利要求1所述的一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述的基片和夹具均为耐高温的石英、陶瓷和耐高温不锈钢材料。
6.一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具的应用,其特征在于:先将主夹具从副夹具中拉出一定的距离,用镊子夹持基片通过主夹具上的凹槽放到主夹具的圆形夹具中,再将主夹具的下半圆推到副夹具的半圆形槽内,调节主夹具的圆形夹具及副夹具的半圆形槽的位置,保证主夹具中圆形夹具下半圆上成单的固定爪B与副夹具中半圆形槽内圆环缘上的固定爪C组成一对上下完全对称的固定爪;同时,主夹具圆形夹具完全被固定到副夹具的半圆形槽内;主夹具和副夹具圆筒形托杆末端的固定通孔A和B分别重合,通过这两对固定通孔将夹具固定到电机上,由电机带动夹具绕其轴线匀速旋转或做往复运动。
7.一种新型大面积双面超导薄膜基片夹具的应用,其特征在于:将超导薄膜基片装入超导薄膜基片夹具中,由电机带动夹具在化学溶液法制备高温超导薄膜所需热处理炉中绕其轴线匀速连续旋转或往复运动,制备出超导薄膜。
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