[发明专利]一种用于镀膜行星系统中控制圆锥形光学元件膜厚分布的挡板设计方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学薄膜元件制备领域，尤其是一种用于镀膜行星系统中控制圆锥形光学元件膜厚分布的挡板设计方法。

背景技术

随着科学技术的发展，光学系统设计日益精密。为满足光学系统的性能指标，部分光学系统中使用了圆锥形光学元件，并在圆锥形光学元件表面镀制具有特殊设计的光学薄膜来提高圆锥形光学元件的性能。当前用于在圆锥形光学元件上制备光学薄膜的技术主要可分为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。而物理气相沉积是一种在真空条件下，通过蒸发或溅射薄膜材料，并在圆锥形光学元件表面沉积形成薄膜的工艺过程。在不采取薄膜厚度分布控制的情况下，膜料沉积在圆锥形光学元件表面形成的薄膜厚度一般具有非均匀分布。这种非均匀的薄膜厚度分布导致圆锥形光学元件无法满足光学系统性能需求。因此，为制备高性能的圆锥形光学薄膜元件，必须严格控制圆锥形光学元件上的薄膜厚度分布。

传统的光学元件上未使用挡板时的薄膜厚度分布模型是基于Knudsen法则，主要考虑了蒸发或溅射源特性和真空镀膜机配置对薄膜厚度分布的影响，运用蒸发或溅射源与光学元件间的几何关系计算光学元件上薄膜厚度分布。直到1999年，Villa等人提出用坐标形式刻画光学元件上未使用挡板时的薄膜厚度分布模型，结合矢量运算，使得薄膜厚度分布理论计算更加直观、简便（F.Villa,and O.Pompa,Emission pattern of a real vapor sources in high vacuum:an overview,Appl.Opt.38,695-703(1999)）。但是上述模型均没有考虑蒸发或溅射薄膜材料在光学元件表面上的沉积角对光学元件薄膜厚度分布的影响。

目前，控制真空镀膜机行星系统中光学元件上薄膜厚度分布主要采用位置固定或者运动的挡板修正薄膜厚度技术（J.B.Oliver,P.Kupinski,A.L.Rigatti,A.W.Schmid,J.C.Lambropoulos,S.Papernov,and A.Kozlov,Large-aperture plasma-assisted deposition of inertial confinement fusion laser coatings,Appl.Opt.50,C19-C26(2011)）。尽管单轴陀螺旋转系统（F.L.Wang,R.Crocker,and R.Faber,Large-area Uniformity in Evaporation Coating through aNew Form of Substrate Motion,OSA,(2010)）和适用于离子束溅射镀膜工艺的双驱动行星旋转系统（M.Gross,S.Dligatctch,and A.Chtanov,optimization of coating uniformity in an ion beam sputtering system using a modified planetary rotation method,Appl.Opt.50,C316-C320(2011)）在不使用挡板修正的情况下都可能实现大尺寸平面光学元件上的薄膜厚度分布控制，但对于圆锥形光学元件上的薄膜厚度分布控制尚没有相关报道。

就真空镀膜机行星系统而言，由于行星公转/自转可以灵活调节，圆锥形光学元件镀膜面上任意点的位置随机性非常高，使得圆锥形光学元件镀膜面上任意点与蒸发或溅射源表面上任意点的连线在挡板放置平面上的投影轨迹非常复杂，进而导致挡板设计很难有解析解。传统的用于真空镀膜机行星系统中控制光学元件上薄膜厚度分布的挡板设计方法主要是依靠镀膜经验通过大量的工艺实验反复优化挡板设计来满足特定的薄膜厚度分布，这种设计挡板的过程非常长，一般至少需要数次甚至十几次的实验。

发明内容

本发明的技术解决问题：克服现有未使用挡板时的薄膜厚度分布模型以及控制真空镀膜机行星系统中圆锥形光学元件上薄膜膜厚分布的挡板设计方法的不足，提供一种用于镀膜行星系统中控制圆锥形光学元件膜厚分布的挡板设计方法，能实现圆锥形光学元件上薄膜厚度分布的精确控制。