[发明专利]一种用于键合引线拉力测试的装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种用于键合引线拉力测试的装置。

背景技术

引线键合是集成电路封装、微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems)封装和功率半导体器件封装中实现芯片之间、芯片和散热基板以及芯片和外部电气互连的主要技术。由于键合工艺质量，特别是键合引线的拉力大小，直接关系到产品的可靠性和寿命，因此对于键合工艺参数的检测就显得尤为重要。

引线键合拉力是衡量/评价键合工艺质量的重要参数之一，因此需要引线键合拉力测试仪对完成键合工艺后的试件/样品的键合引线进行拉力测试，通过评估引线键合拉力值来确定键合工艺是否满足产品可靠性要求。所以引线键合拉力测试装置非常重要。

目前，对于引线键合拉力测试一般使用专用的拉力测试仪。该拉力测试仪具有机箱、显示器、测试平台、设置在机箱上与测试平台位置对应的观测目镜。测试过程通常为：

1)将待测件水平固定在测试平台上；

2)用观测目镜观察待测件位置，并人工调整待测件位置；

3)用连接有拉力传感器的挂钩垂直钩住待测件的引线，并为其施加垂直向上的拉力；

4)该拉力传感器将力信号传递到机箱中的控制单元，经过信号处理之后将拉力值通过显示器显示。

这种方式拉钩的位置固定，仅能调整待测件的位置，实际测试时不够灵活。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种用于键合引线拉力测试的装置，使得拉钩的位置能够调整，以提高测试的灵活性。

为达到上述目的，本发明提供了一种用于键合引线拉力测试的装置，包括拉钩、待测件安装机构、拉钩位置调整机构和拉伸机。

所述待测件安装机构包括待测件固定板和水平底座，该待测件固定板垂直设置在水平底座上，待测件可拆卸地平行安装在待测件固定板的第一面上；

所述拉钩位置调整机构包括水平轨道和与其垂直的竖直轨道，该竖直轨道通过底部的安装片安装在水平轨道中，并能沿水平轨道移动，该竖直轨道的轨道开口与待测件固定板的第一面相对，拉钩通过其一端的固定块安装在竖直轨道中，并能沿竖直轨道上下移动；

所述拉伸机具有能够在水平方向相对滑动的两个滑块、与两个滑块相连的位移传感器和设置在第一滑块上的拉力传感器；所述待测件安装机构的水平底座安装在第一滑块上的拉力传感器上；所述拉钩位置调整机构的水平轨道安装在第二滑块上，使得安装在竖直轨道上的拉钩能够相对待测件左右移动。

较佳地，所待测件安装机构还包括待测件固定块；所述待测件固定板上具有四个独立的一字孔组成的十字孔；所述的待测件固定块具有压块和与之相连的螺柱，当有待测件安装在所述待测件固定板时，所述压块压住所述待测件，螺柱穿过所述十字孔，通过螺母固定。

较佳地，所述待测件固定板的第一面上设置有与待测件长度或宽度相配合的平行轨道，待测件沿长度方向或宽度方向插入平行轨道进行固定。

较佳地，所述水平轨道的开口截面为凸字形；所述水平轨道的底部，沿长度方向向外延伸一安装部，该安装部上设置有螺孔，通过螺钉安装到第二滑块上表面；所述竖直导轨底部的安装片上与平行轨道开口截面对应的位置设置有螺孔，通过螺钉将该安装片安装到平行轨道中。

较佳地，所述拉钩包括钩体和拉钩固定块；该钩体第一端为钩状，第二端为具有外螺纹的柱状；该拉钩固定块包括一具有两个以上螺孔的圆柱块，和伸出该圆柱块中央位置的具有内螺纹的安装柱；所述钩体通过其第二端的外螺纹和拉钩固定块的安装柱的内螺纹相连；所述竖直轨道的开口截面为凸字形；所述拉钩通过螺钉穿过竖直轨道的开口及所述圆柱块的螺孔，固定到竖直轨道上。

较佳地，该装置还包括一带色彩激光源，在测试前，该激光源置于拉钩固定块的安装柱的内螺纹中，用于对准被测件。

较佳地，所述待测件安装机构的水平底座为与待测件固定板垂直的长方形片状结构，该长方形片状结构设置有螺孔，通过螺钉将该水平底座安装到所述第一滑块上的拉力传感器的上表面。

较佳地，所述拉伸机还包括滑块连接轴和步进电机；所述连接轴设置有外螺纹；所述第一滑块和第二滑块中部设置有内螺纹孔，所述第一滑块和第二滑块通过所述连接轴的外螺纹和内部的内螺纹，相对安装于该连接轴上；所述步进电机与连接轴相连，控制连接轴旋转带动第一滑块和第二滑块相对运动。

由上述的技术方案可见，本发明的这种用于键合引线拉力测试的装置，通过拉钩位置调整机构，实现了对拉钩位置的调整，从而提高了键合引线拉力测试的灵活性。