[发明专利]振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备

权利要求书

1.一种振动陀螺元件，其特征在于，

具备：

支承部；

多个驱动用振动臂，其从所述支承部起并排延伸；

多个检测用振动臂，其从所述支承部起向所述驱动用振动臂的相反侧并排延伸,且数量与所述驱动用振动臂相同，

并且，所述振动陀螺元件具有：

驱动模式，相邻的多个所述驱动用振动臂在沿着其表背主面的面内方向上相互反向地进行弯曲振动；

第一检测模式，通过由于所述振动臂的绕延伸方向的旋转而作用的哥氏力，从而多个所述驱动用振动臂在与其表背主面相交的面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述哥氏力的作用方向反相的方式进行弯曲振动，并且多个所述检测用振动臂在所述面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述驱动用振动臂反相的方式进行弯曲振动；

第二检测模式，多个所述驱动用振动臂在与其表背主面相交的面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述哥氏力的作用方向同相的方式进行弯曲振动，并且多个所述检测用振动臂在所述面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述驱动用振动臂同相的方式进行弯曲振动，

各个所述检测用振动臂在所述第一检测模式和所述第二检测模式中以同相进行弯曲振动。

2.一种振动陀螺元件，其特征在于，

具备：

支承部；

多个驱动用振动臂，其从所述支承部起并排延伸；

多个检测用振动臂，其从所述支承部起向所述驱动用振动臂的相反侧并排延伸，且数量与所述驱动用振动臂相同，

并且，所述振动陀螺元件具有：

驱动模式，相邻的多个所述驱动用振动臂在沿着其表背主面的面内方向上，相互反向地以预定的驱动共振频率fd进行弯曲振动；

第一检测模式，通过由于所述振动臂的绕延伸方向的旋转而作用的哥氏力，从而多个所述驱动用振动臂在与其表背主面相交的面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述哥氏力的作用方向反相的方式进行弯曲振动，并且多个所述检测用振动臂在所述面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述驱动用振动臂反相的方式，以预定的第一检测共振频率fp1进行弯曲振动；

第二检测模式，多个所述驱动用振动臂在与其表背主面相交的面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述哥氏力的作用方向同相的方式进行弯曲振动，并且多个所述检测用振动臂在所述面外方向上，以相邻的振动臂彼此相互反向，且与所述驱动用振动臂同相的方式，以预定的第二检测共振频率fp2进行弯曲振动，

所述共振频率fd、fp1、fp2满足如下关系，即，

fp1＜fd＜fp2，并且，

0.7×(fd－fp1)≤fp2－fd≤1.3×(fd－fp1)。

3.如权利要求2所述的振动陀螺元件，其特征在于，

将相对于所述驱动用振动臂的长度Ld的、所述支承部的宽度Wb设定在Wb/Ld≥2的范围内。

4.如权利要求3所述的振动陀螺元件，其特征在于，

将相对于所述驱动用振动臂的长度Ld的、所述支承部的宽度Wb设定在Wb/Ld≥2.5的范围内。

5.如权利要求4所述的振动陀螺元件，其特征在于，

将相对于所述驱动用振动臂的长度Ld的、所述支承部的宽度Wb设定在Wb/Ld≥3.3的范围内。

6.如权利要求2所述的振动陀螺元件，其特征在于，

以百万分率表示的方式而将检测失谐频率Δfd和寄生失谐频率Δfs设定为︱Δfd—Δfs︱≤40000，所述检测失谐频率Δfd为所述第一检测共振频率fp1与所述驱动共振频率fd之间的差，所述寄生失谐频率Δfs为所述第二检测共振频率fp2与所述驱动共振频率fd之间的差。

7.如权利要求6所述的振动陀螺元件，其特征在于，

以百万分率表示的方式而将所述检测失谐频率Δfd和所述寄生失谐频率Δfs设定为|Δfd－Δfs︱≤13000。

8.如权利要求7所述的振动陀螺元件，其特征在于，

以百万分率表示的方式而将所述检测失谐频率Δfd和所述寄生失谐频率Δfs设定为︱Δfd－Δfs︱≤1000。

9.一种陀螺传感器，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的振动陀螺元件。

10.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的振动陀螺元件。