[发明专利]钛酸钡化学机械抛光水性组合物及其应用

权利要求书

1.一种钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，包含：

1-20重量%，优选8-15重量%的磨料；

0.5-10重量%，优选1-3重量%的络合剂；以及

0.01-5重量%，优选0.1-1重量%的表面吸附剂，

其中，所述钛酸钡化学机械抛光水性组合物的pH值为8.0-12.0，优选10.0-11.5。

2.根据权利要求1所述的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，所述磨料为选自二氧化硅、二氧化铈、二氧化钛、钛酸钡、氧化铝、氧化锆和氧化锗的至少一种，优选胶体二氧化硅，

任选地，所述胶体二氧化硅的平均粒度为10-200纳米，优选50-80纳米。

3.根据权利要求1所述的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，所述络合剂为选自包括氨、磷酸三钠、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸铵、羟乙基乙二胺四乙酸、羟乙基乙二胺四乙酸铵、乙酰丙酮、氨基乙酸、二羟基甘氨酸、柠檬酸、柠檬酸铵、酒石酸、乳酸、草酸、葡萄糖酸、丙氨酸、谷氨酸、脯氨酸、羟谷氨酸、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、草酰胺、氯化钠、氟化钠、氯化钾、氟化钾、氯化铵和氟化铵的至少一种，优选为选自柠檬酸和氟化铵的至少一种。

4.根据权利要求1所述的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，所述表面吸附剂为选自聚乙烯醇、聚乙二醇、聚亚烷基二醇、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基甲基纤维素、木质素硫酸钠、木质素磺酸钠、棕榈酸、油酸、亚油酸、硬脂酸、花生四烯酸、二十碳五烯酸和亚麻酸至少一种，优选为选自聚乙烯醇和木质素磺酸钠的至少一种。

5.根据权利要求1所述的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，利用选自下列的至少一种pH调节剂调节所述钛酸钡化学机械抛光水性组合物的pH值：硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、氯乙酸、丙二酸、乙酸、乙酸钠、甘氨酸、柠檬酸、柠檬酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、氨水、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、氨基丙醇、二异丙醇胺、乙二胺、氢氧化四甲基胺、氢氧化四乙基胺、氢氧化四丙基胺、三羟甲基氨基甲烷、胆碱、哌啶、哌嗪、多亚乙基亚胺、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸钾、磷酸钠、磷酸钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、磷酸氢铵、硼酸、硼砂，优选硫酸、盐酸、磷酸、甘氨酸、氢氧化钠、氢氧化钾、氨水、乙醇胺、氢氧化四甲基胺、碳酸钠和碳酸氢钠的至少一种。

6.一种钛酸钡基片化学机械抛光工艺方法，其特征在于，

利用权利要求1-5任一项所述的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，对所述钛酸钡进行抛光。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述抛光采用软质抛光垫进行，优选工业用二步抛光垫。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在1.0Psi抛光压力下进行所述抛光。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，利用抛光机，优选UNIPOL-802型单面抛光机进行所述抛光。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，进行所述抛光时，抛光盘转速为80rpm，抛光进液流量为100mL/min。