[发明专利]一种耐高温抗氧化金属陶瓷复合涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种耐高温抗氧化金属陶瓷复合涂层，其特征在于该涂层由难熔金属、难熔碳化物和金属间化合物组成，涂层厚度为10μm～50μm。

2.根据权利要求书1所述的涂层，其特征在于所述的难熔金属为钼、钽、锆和铪中的一种或多种。

3.根据权利要求书1所述的涂层，其特征在于所述的难熔碳化物组成为碳化硅，以及碳化钽、碳化锆和碳化铪中的一种或多种。

4.根据权利要求书1所述的涂层，其特征在于所述的金属间化合物组成为硅化钼、硅化钽、硅化锆、硅化铪、碳硅化钽、碳硅化锆和碳硅化铪中的一种或多种。

5.根据权利要求书1所述的涂层，其特征在于所述的涂层的晶体结构由非晶态和/或多晶态纳米颗粒组成。

6.一种耐高温抗氧化金属陶瓷复合涂层的制备方法，有一个密闭的沉积室，工件和靶材置于沉积室中并通负偏压，沉积室有一个进气口和一个出气口，其特征在于以难熔金属组合件为靶材，高熔点导电材料为工件，沉积室气压为20Pa-50Pa。

7.根据权利要求书6所述的制备方法，其特征在于工件电压-300V～-500V，靶材电压为-800V～-1200V。

8.根据权利要求书6所述的制备方法，其特征在于进气口所进的气体是三氯甲基硅烷和/或二氯甲基硅烷和/或一氯甲基硅烷、氩气，硅烷气体流量为10ml/min-100ml/min，进气口持续进气或脉冲式进气。

9.根据权利要求书6所述的制备方法，其特征在于出气口持续抽真空或脉冲式抽真空，当进气口为持续进气时，出气口为持续排气；当进气口脉冲进气时，出气口脉冲式排气，沉积过程中排气量小于或等于进气口进气量。

10.根据权利要求书6所述的制备方法，其特征在于所述的高熔点导电材料为石墨，炭/炭，铌钨合金，钛合金，镍基合金和铁铝合金，

11.根据权利要求书6所述的制备方法，其特征在于包括下述顺序的步骤：

(1)工件和靶材置于沉积室内，然后沉积室抽真空至极限真空，

(2)打开进气口氩气，调节沉积室工作气压；

(3)工作气压稳定后，缓慢开通工件电压，等离子体加热工件，同时清洗工件表面；

(4)缓慢开通靶材电压，沉积一段时间，工件表面温度达到850℃～1200℃，然后再通入硅烷气体；

(5)沉积1-5h后，先关闭硅烷气体，然后再关闭氩气，最后关闭电源。