[发明专利]一种高温固化炉

权利要求书

1.一种高温固化炉，包括加热腔、加热器、以及对所述加热腔内部固化温度进行监控的温度监控系统；其特征在于，所述加热器包括多个可单独控制的加热模块，所述温度监控系统包括：

监测所述加热腔内部环境温度信息的至少一个热电偶；

监测所述加热腔内每一层基板表面的温度信息、根据所述基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置；

信号连接所述热电偶和所述红外监测装置，根据所述热电偶反馈的温度信息和所述红外监测装置反馈的温度信号判断出存在固化温度过高点，和/或，过低点温度异常的基板时，生成相应执行指令的信号处理模块；

信号连接所述信号处理模块，并根据所述信号处理模块生成的执行指令调节所述加热器中与存在温度异常的所述基板对应的所述加热模块加热功率的执行模块。

2.根据权利要求1所述的高温固化炉，其特征在于，每一个所述加热模块与所述加热腔内放置的基板一一对应。

3.根据权利要求2所述的高温固化炉，其特征在于，每一个所述加热模块包括至少一个加热电阻丝，且每一个加热电阻丝可单独控制。

4.根据权利要求1所述的高温固化炉，其特征在于，所述红外监测装置包括：

位于所述加热腔内、监测所述加热腔内的各层基板表面温度信息的至少一个红外摄像管；

设置于所述加热腔侧壁的滑轨；

可驱动所述红外摄像管沿所述滑轨滑动的驱动装置；

与每一个所述红外摄像管信号连接，根据基板温度信息可生成温度信号的红外信号接收处理器，所述红外信号接收处理器与所述信号处理模块信号连接。

5.根据权利要求4所述的高温固化炉，其特征在于，所述红外信号接收处理器还可以根据所述红外摄像管监测的基板表面的温度信息生成红外成像信号；

所述红外监测装置还包括信号连接所述红外信号接收处理器、并根据所述红外信号接收处理器生成的红外成像信号成像的显示器。

6.根据权利要求5所述的高温固化炉，其特征在于，所述红外摄像管为一个，所述红外摄像管沿所述滑轨可在所述加热腔内的最高层基板与最低层基板之间往复滑动。

7.根据权利要求5所述的高温固化炉，其特征在于，所述红外摄像管为多个，且每一个所述红外摄像管与所述加热腔内的一层基板相对应，所述滑轨为与每一个所述红外摄像管一一对应的水平滑道，且每一个所述红外摄像管均可沿其滑道往复滑动。

8.根据权利要求1-7任一项所述的高温固化炉，其特征在于，所述信号处理模块为可编程逻辑控制器。

9.根据权利要求8所述的高温固化炉，其特征在于，所述执行模块包括多个固体继电器；根据所述可编程逻辑控制器的执行指令控制各个固体继电器的开合对所述加热器中与所述存在温度异常的基板对应位置处的所述加热模块的加热功率进行调节。