[发明专利]一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法有效
| 申请号： | 201210245228.8 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102769069A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 殷涵玉;王栩生;章灵军 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋;陆金星 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 太阳能电池 扩散 方法 | ||
1.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1) 将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内，升温至800~1100℃，通入氧气进行氧化，氧化时间为1~30min；
(2) 保持步骤(1)中的温度或升温至900~1100℃，通硼源、氧气和氮气进行硼扩散；
(3) 停止通源，保持温度或降温至800~900℃，在氮气气氛下保温5~50 min；
(4) 降温，出舟，完成扩散过程。
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(1)中氧气的流量为5~20L/min。
3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(2)中硼源为BBr3，其流量为50~2000mL/min；氧气流量为50~2000mL/min；氮气流量为5~20L/min；硼扩散的时间为10~85min。
4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(3)中的氮气流量5~10L/min。
5.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1) 将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内，升温至750~900℃后通入氧气进行氧化，然后在1~30min内继续升温至900~1100℃；
(2) 保持步骤(1)中的温度或升温至900~1100℃，通硼源、氧气和氮气进行硼扩散；
(3) 停止通源，保持温度或降温至800~900℃，在氮气气氛下保温5~50 min；
(4) 降温，出舟，完成扩散过程。
6.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(1)中氧气的流量为5~20L/min。
7.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(2)中硼源为BBr3，其流量为50~2000mL/min；氧气流量为50~2000mL/min；氮气流量为5~20L/min；硼扩散的时间为10~85min。
8.根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(3)中的氮气流量5~10L/min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司，未经苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210245228.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单缸双作用塔机一体式岩心钻机
- 下一篇：全自动道路护栏清洗装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
