[发明专利]半导体二极管侧面泵浦腔内倍频紫外激光器及其方法

权利要求书

1.一种半导体二极管侧面泵浦的腔内倍频紫外激光器，其特征在于包括顺次相连的第一全反射镜（1）、第一侧泵模块（2）、第一透镜（3）、第二透镜（4）、90°旋光器（5）、第二侧泵模块（6）、声光Q开关（7）、偏振片（8）、第二全反射镜（9）、波片（10）、二倍频晶体（11）、和频晶体（12）和第三全反射镜（13）；其中第一全反射镜（1）和第三全反射镜（13）组成了基频激光谐振腔，第一侧泵模块（2）和第二侧泵模块（6）通过第一透镜（3）、第二透镜（4）、90°旋光器（5）进行热致双折射补偿后，产生的基频激光被声光Q开关（7）调制成脉冲光，基频激光经过偏振片（8）和第二全反射镜（9）反射后依次通过波片（10）、二倍频晶体（11）、和频晶体（12），产生的紫外激光从和频晶体（13）的尾端输出。

2.一种使用如权利要求1所述激光器的半导体二极管侧面泵浦的腔内倍频紫外激光产生方法，其特征在于将腔内双侧泵模块串接结构和腔内倍频的方法相结合，使用第一全反射镜（1）、偏振片（8）、第二全反射镜（9）、和第三全反射镜（13）组成基频激光谐振腔，利用大功率的第一侧泵模块（2）和第二侧泵模块（6）在腔内串接产生基频激光，并在之间加入第一透镜（3）、第二透镜（4），使第一侧泵模块（2）和第二侧泵模块（6）相互成像，再加入90°旋光器（5），使第一侧泵模块（2）和第二侧泵模块（6）中光场的径向和切向分量相互调换，这样径向和切向分量之间会引入相反的相位差，从而实现对热致双折射效应的补偿；利用声光Q开关（7）对基频激光进行调制产生脉冲激光，调制后的基频激光通过偏振片（8）产生偏振光并被反射，之后被第二全反射镜（9）反射，经波片（10）改变偏振方向后，进入到二倍频晶体（11）倍频，再通过和频晶体（12）产生紫外激光，和频晶体（12）的一端以布儒斯特角切割，这样既减少腔内损耗，又作为紫外激光的输出端，降低对腔镜镀膜的要求。