[发明专利]全固态四次谐波紫外激光器

说明书

技术领域

本发明涉及一种全固态四次谐波紫外激光器。

背景技术

在当前国际背景下，激光器在材料加工等方面的应用越来越广泛。而波长更短的紫外激光相对于其他波长的激光器具有更加明显的优势，如具有高的光子能量，优良的材料吸收特性、更好的聚焦能力和“冷加工”等，因此紫外激光器在精密材料微加工、光刻等领域有更广泛的应用前景。目前全球对紫外激光器的需求日益增加，应用领域也在不断扩大。

目前，获得脉冲四次谐波激光器主要采用腔外倍频技术。这种方法将二次谐波通过一个聚焦系统和四倍频晶体或采用大功率的基波依次经过二倍频晶体、四倍频晶体的技术路线获得四次谐波紫外激光。其特点是二次谐波功率密度大，易引起晶体表面损坏。为弥补这一缺点，需要提高晶体表面镀膜质量；或采用晶体自动移动的技术，即在使用一段时间后对晶体进行换位置以实现其长时间工作。该技术对自动移动装置有严格要求，整个系统复杂、价格昂贵。

深圳大族激光公司第CN100421316C号中国专利利用多次反射法获得脉冲四次谐波紫外激光。这种方法利用腔内倍频获得的二次谐波在四倍频晶体上来回往返倍频，产生高功率四次谐波紫外激光输出，这种方法的问题是二次谐波是未谐振的，在来回往返过程中其光斑半径不断变大，导致未转换为四次谐波的二次谐波的功率密度随着来回往返显著下降。故随着二次谐波经过四倍频晶体的次数的增加，二次谐波每次转换为四次谐波的效率大幅度降低，因此这种技术还是不能充分利用二次谐波功率，从而限制了四次谐波输出功率。且上述所用的基波谐振腔采用折叠腔，这样会带来像散的问题；同时使用镜片较多、腔结构复杂，不利于光路的安装与调试。在其优选方式中，二次谐波到四次谐波的转换效率最大为20%，其泵浦光到四次谐波的转换效率未报道。

针对这些问题，我们开发出一种结构紧凑、易于安装调试、且能够实现二次谐波光斑半径可控并能充分利用二次谐波功率的高效的四次谐波紫外激光器，其二次谐波到四次谐波的转换效率最大为43.6%，泵浦光到四次谐波的转换效率最大为11%。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，开发出一种可以实现二次谐波光斑半径可控、充分利用二次谐波功率，结构紧凑、便于安装调试、稳定输出、成本相对低廉、光转换效率高的四次谐波紫外激光器。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案（结合附图）：

附图中1、2、3、4、5、6、7、8依次是端全反镜、激光增益介质、调Q开关、中间镜一、二倍频晶体、中间镜二、四倍频晶体、输出镜；产生二次谐波和四次谐波的元件在光路上依次包括中间镜一（4）、二倍频晶体（5）、中间镜二（6）、四倍频晶体（7）和输出镜（8），输出镜（8）为平凹镜片，其曲率半径大于中间镜二（6）和输出镜（8）之间的距离，且凹面正对四倍频晶体（7），中间镜一（4）镀基波波长高透和二次谐波波长高反膜，中间镜二（6）镀基波、四次谐波波长高反和二次谐波波长高透膜，输出镜（8）镀二次谐波波长高反和四次谐波波长高透膜；

利用在端全反镜（1）和中间镜一（4）之间谐振由激光增益介质（2）产生的高功率密度基波作用到二倍频晶体（5）上产生二次谐波；

二次谐波经过中间镜（6）后入射到所述四倍频晶体（7）上产生四次谐波，输出镜（8）反射并聚焦未转换为四次谐波的二次谐波，使其再次经过四倍频晶体（7）， 产生累积的四次谐波，然后从输出镜（8）耦合输出。

本发明相对于现有技术所具有的创新是：本发明一种全固态四次谐波紫外激光器中，基波、二次谐波、四次谐波直线型光路形成了低损耗的耦合，同时完全避免了采用折叠基波谐振腔所带来的像散问题；输出镜为平凹镜片的设计能够反射并聚焦二次谐波，这样在来回往返传输过程中二次谐波的光斑半径就不会明显变大，实现二次谐波光斑半径可控，保证了未被转换为四次谐波的二次谐波的功率密度不会随着来回反射而显著降低，因此未转换为四次谐波的二次谐波每次经过四倍频晶体时的倍频效率亦不会显著下降，在这些条件下，达到充分利用二次谐波功率的目的，获得高效四次谐波激光输出。