[发明专利]用于CVD反应器中的电极固定器的保护性装置

权利要求书

1.用于保护CVD反应器中电极固定器的装置，所述装置包括电极固定器上的适用于容纳丝棒的电极，所述电极固定器由导电材料构成，并且安装在底板的凹进部分中，其中电极固定器与底板之间的中间空间借助于密封材料密封，而密封材料通过保护体保护，保护体由一个或多个部件制得，并以环状方式布置在电极周围，保护体的高度至少在电极固定器方向的区段中增加。

2.权利要求1的装置，其中保护体由多个部件制得，所述部件围绕电极固定器同心布置。

3.权利要求1或2的装置，其中保护体的材料选自以下组中：半透明硅石、银、单晶硅或多晶硅、碳化钨、碳化硅、硅涂敷石墨、CFC复合材料、钨和其它的高熔融金属。

4.权利要求1-3之一的装置，其中保护体至少部分由半透明硅石或银构成。

5.权利要求1-4之一的装置，其中保护体由多个部件制得，所述部件的至少一个由半透明硅石或银构成。

6.权利要求1-5之一的装置，其中密封材料另外受保护体保护，所述保护体围绕电极固定器以环状方式布置在电极固定器与底板之间的中间空间中。

7.用于生产多晶硅的方法，其包括向CVD反应器中引入含有含硅组分和氢气的反应气体，所述CVD反应器含有至少一个丝棒，丝棒位于权利要求1-6之一的装置上，并借助于所述电极向丝棒提供电力，因此，丝棒通过电流直接流过而被加热至硅在丝棒上沉积的温度。