[发明专利]基板处理方法及系统、该系统的运用方法及控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及进行与基板处理装置的内部之间连同容纳器一起交接半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED（Field Emission Display：场发射显示器）用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板（下面，简称为基板）的控制，或进行与自动物料搬运系统之间交接容纳器的控制的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。

背景技术

以往，作为这种基板处理系统可列举具有基板处理装置、自动物料搬运系统和对整体进行控制的主计算机的系统，其中，所述基板处理装置具有基板处理单元、容纳器容置/搬运单元、装载台（load port）、装载台控制装置，所述自动物料搬运系统根据主计算机的指示搬运容纳器。

基板处理单元对基板进行各种处理。容纳器容置/搬运单元与基板处理单元并排设置，容置或者搬运用于容置基板的FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式统一标准箱）。装载台与容纳器容置/搬运单元并排设置，用于载置FOUP。装载台控制装置控制与容纳器容置/搬运单元之间或者与自动物料搬运系统之间的FOUP的交接。自动物料搬运系统（AMHS：Automated Material Handling System）为无人搬运车（AGV：Automatic Guided Vehicles），或者为空中行走式无人搬运车（OHT：Overhead Hoist Transfer），用于进行与装载台之间的FOUP的交接。主计算机与装载台控制装置之间和与自动物料搬运系统之间进行通信，进行与搬运容纳器相关的控制。

一个基板处理装置通常具有多个装载台，但是当基板处理单元的处理效率变高时，搬运容纳器的个数增多，如果不缩短自动物料搬运系统搬运容纳器的搬运间隔，则不能充分发挥基板处理单元的效率。但是，就这种自动物料搬运系统的通常的标准（规格）而言，自动物料搬运系统中的多台搬运车不会对一个装载台同时进行搬入动作，而是仅一个搬运车对一个装载台进行搬入动作。另外，一个搬运车向该装载台搬入容纳器所需的时间受到该自动物料搬运系统的布局等因素的限制，而不能够缩短到规定程度以上。因此，会产生自动物料搬运系统进行的搬运赶不上基板处理单元而导致处理效率下降的问题。

因此，提出了一种第一装置，其在高度方向上增加上述装载台的个数，并且将自动物料搬运系统的搬运路线增加为两条（例如，参照专利文献1）。另外，提出了一种第二装置，其在装载台附近设有作为容纳器暂时避让的场所的可移动缓冲部，来短时间解放装载台（例如，参照日本特开2010-192855号公报）。

但是，在具有上述结构的现有例子的情况下，存在着下面的问题。

即，现有的第一装置需要增加装载台，并且需要增加自动物料搬运系统的搬运路线，存在增大装置成本的问题。

另外，现有的第二装置需要在装载台附近设置特殊的可移动缓冲部，也存在增大装置成本的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种不需要增加装载台等机械结构或者使机械结构复杂化就能够抑制装置成本并提高容纳器的搬运效率的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。

本发明，为了达到上述的目的，具有如下的结构。

本发明提供一种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统，具有：基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理系统的控制装置的特征在于，具有虚拟装载台控制装置，虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。

另外，本发明提供一种基板处理方法，利用基板处理系统来进行基板处理，该基板处理系统，具有：基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理方法的特征在于，包括以下步骤：对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。