[发明专利]溅镀机无效
| 申请号： | 201210229052.7 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102747331A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄宇庆 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;李岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀机 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅镀机，适于承载一玻璃基板以对该玻璃基板进行溅镀制程，其特征在于，该溅镀机包括：
一溅镀腔室，具有一开口；
一阴极，位于该溅镀腔室内，并且该开口曝露出该阴极；
一基板载台，包括：一底座，覆盖该开口；以及一承载盘，位于该底座与该阴极之间，该承载盘具有一粗糙面，该粗糙面面向该阴极，该粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间；以及
多个固定结构，自该粗糙面突出，用以将该玻璃基板固定于该粗糙面与该阴极的间。
2.如权利要求1所述的溅镀机，其特征在于，该承载盘的材质是铝镁合金。
3.如权利要求2所述的溅镀机，其特征在于，该铝镁合金的镁的重量百分比为介于2.2%至2.8%之间。
4.如权利要求3所述的溅镀机，其特征在于，该承载盘的材质为国际合金命名系统的5052号铝镁合金。
5.如权利要求3所述的溅镀机，其特征在于，该承载盘可分离地固定于该底座。
6.如权利要求1所述的溅镀机，其特征在于，每一该固定结构包括一顶面，该顶面用以与该玻璃基板接触，该顶面的中心线平均粗糙度低于该粗糙面的中心线平均粗糙度。
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