[发明专利]一种闸板阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸板阀，尤其涉及在高温条件下工作的真空设备管路中的闸板阀。

背景技术

目前，很多半导体材料都采用化学气相沉积（CVD）方法来实现其必要的工艺，如硅扩散工艺、氢化物气相外延等，这些工艺都需要在较高的温度条件下实现，一般采用高温炉体，由于同时需要使用不同的气体实现化学反应，涉及到气体流通腔室在高温环境下设置开关两个状态，若要两个以上腔室切换工作，就需要使用高温闸板阀来实现。

由于工作介质（高温气体）或辐射产生的温度较高，采用传统的真空闸板阀，容易导致闸板在高温下变形，从而导致闸板无法正常开合及无法实现密封等等情况，最终导致整个闸板阀无法正常工作。因此，急需一种既可以在高温环境下正常开合，又可以实现密封的闸板阀。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种闸板阀，来解决现有技术中存在的问题和不足。

为达上述的目的，本发明提供了一种闸板阀，包括一闸板，还包括内壳和盖板，所述闸板包括水嘴、连杆和方板；所述方板两端分别固接一连杆，两根连杆另一端分别设有所述水嘴；所述方板上设有一通孔；所述方板与连杆为中空结构，且两者的中空结构相连通；所述闸板设置于内壳中，内壳与闸板间设有密封件，所述盖板设置于闸板两端，所述固定螺栓固接在盖板上，且与所述闸板的连杆接触，从而将内壳与闸板之间压紧。

进一步，所述密封件为橡胶圈。

进一步，所述内壳为中空结构，设有内壳通孔，且通有多个内壳水嘴。其作用是在高温条件下使用时，从水嘴向中空部位通入循环冷却水，降低内壳温度。

进一步，所述的闸板阀还包括外壳和盖板，外壳一端夹在闸板与内壳中间，另一端固接有盖板；所述外壳为四块，闸板两端各有两块；所述盖板为四块，闸板两端各有两块。闸板阀采用内壳和外壳的组合方式，便于维修拆卸。

进一步，所述的闸板阀还包括动力装置，所述动力装置与闸板一端相连。

进一步，所述动力装置包括气缸和连接件，气缸与连接件相连，连接件与闸板一端相连。其作用是为闸板在其轴向上的移动提供动力。

进一步，所述的闸板阀还包括闸板与盖板之间的连接杆以及该连接杆的密封套管；所述密封套管一端与闸板的方板固接，另一端与盖板固接；所述闸板与盖板之间的连接杆以及密封套管为四个，闸板两端各有两个，且每端的两个分别设置在连杆两侧，在移动闸板时，一组闸板与盖板之间的连接杆以及密封套管伸长，另一组压缩，密封套管的作用在于保证闸板与盖板之间的连接杆与外界密封。

进一步，所述密封套管为波纹管。

综上所述，本发明的优点在于：

（1）可以降低闸板阀工作时的温度，实现闸板阀的正常开合；

（2）可以实现更好的密封效果；

（3）使用寿命长。

附图说明

图1为本发明所述装置的结构示意图；

图2为沿图1中A方向的闸板结构示意图。

图中标记所示如下：

1、闸板                   101、方板         

102、通孔                 103、第一连杆

104、第二连杆             105、第一水嘴

106、第二水嘴             2、内壳

3、外壳                   4、密封件

5、盖板                   6、气缸

7、连接件                 8、波纹管

901、第一固定螺栓         902、第二固定螺栓

10、内壳水嘴。

具体实施方式

本具体实施方式将结合附图做进一步的说明。

如图1和图2所示，一种闸板阀，包括闸板1、内壳2、外壳3、盖板5、波纹管8、气缸6、连接件7、固定螺栓和密封件4。

所述闸板1又包括水嘴、连杆、和方板101；所述方板101上设有一通孔102，沿方板101轴向的两端分别固接第一连杆103和第二连杆104，第一连杆103另一端接有第一水嘴105，第二连杆104另一端接有第二水嘴106；所述方板101与连杆为中空结构，且两者的中空结构相连通。其作用是在高温条件下使用时，从水嘴向中空部位通入循环冷却水，降低闸板1温度，使其在高温条件下也可正常工作。