[发明专利]一种激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子的制备方法及装置

权利要求书

1.一种激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子制备方法，其特征在于包含以下步骤：

(1)工作液槽中加入工作液，浸过加工工件和工具电极；

(2)加工工件和工具电极分别连接于超短脉冲电源两极，通过位移平台实现加工工件的进给，使加工工件和工具电极之间形成连续的脉冲性放电，利用放电通道中产生的瞬时高温去除材料，产生蚀除产物；

(3)在步骤(2)进行的同时，利用激波发生器对放电通道施加激波，将放电通道中的蚀除产物分散，再对工作液过滤，得纳米粒子；工作液回收使用；

激波脉冲宽度的范围是500ns～5μs，激波压力的范围是10MPa～100MPa。

2.根据权利要求1所述的激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子制备方法，其特征在于：所述的工作液为绝缘液体。

3.根据权利要求1所述的激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子制备方法，其特征在于：在步骤(1)之前，在加工工件上添加一个辅助电极。

4.一种激波辅助超短脉冲放电的制备纳米粒子的装置，其特征在于：在位移平台(8)上固定工作液槽(3)，在工作液槽(3)内固定激波发生器(7)，激波发生器(7)连接至激波电源(1)；工作液槽(3)内、离激波发生器(7)正上方1cm～10cm处固定有一个工具电极(6)；工具电极(6)上方是加工工件(4)，加工工件(4)固定于位移平台(8)上的支架，工具电极(6)和加工工件(4)均连接至超短脉冲电源(2)；还包括一个带有过滤装置(10)的工作液循环系统(9)，两端与工作液槽(3)相连，形成闭合环路。

5.根据权利要求5所述的激波辅助超短脉冲放电的制备纳米粒子的装置，其特征在于：所述激波发生器(7)由上盖板(11)、下底板(13)、固定在上盖板(11)和下底板(13)之间的换能器(12)组成。

6.根据权利要求5所述的激波辅助超短脉冲放电的制备纳米粒子的装置，其特征在于：所述的加工工件(4)上还包括一个辅助电极(14)。