[发明专利]一种三氯化铁系ITO蚀刻液及其制备方法

权利要求书

1.一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述该蚀刻液包括盐酸或硝酸、FeCl₃、硝酸盐化合物或氯基化合物、表面活性剂和纯水，所述表面活性剂为阴离子表面活性剂和聚氧乙烯型非离子表面活性剂的混合物。

2.根据权利要求1所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液的组分中各物质质量配比如下：硝酸或盐酸5~20 wt %、FeCl₃  5~25 wt %、氯基化合物或硝基化合物0.05~5 wt %、阴离子表面活性剂0.01~0.1 wt %、聚氧乙烯型非离子表面活性剂0.05~5 wt %、余量为纯水。

3.根据权利要求2所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述盐酸、硝酸浓度分别为：硝酸61.5%，盐酸38%。

4.根据权利要求2所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基苯磺酸、脂肪醇硫酸钠、脂肪醇硫酸、十二烷基硫酸钠、十二烷基硫酸中的一种或者几种；

所述聚氧乙烯型非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯酰胺、聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯失水山梨醇单羧酸酯的一种或者几种。

5.根据权利要求1所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述氯基化合物是可以离解为氯离子的化合物。

6.根据权利要求5所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述氯基化合物为氯化钾，所述氯化钾纯度高于99.5%。

7.根据权利要求1所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述硝酸化合物为硝酸钾，所述硝酸钾纯度高于99.5%。

8.制备权利要求1-7之一所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液的方法，其特征在于：所述制备工艺包括如下加工步骤：

第一步：将强酸性离子交换树脂分别加入到盐酸和硝酸中，搅拌混合，然后滤出强酸性离子交换树脂，控制或去除盐酸和硝酸中的杂质离子；

第二步：将盐酸或硝酸、FeCl₃、氯基化合物或硝基化合物、表面活性剂、纯水配比称重配置；

第三步：将氯基化合物或硝基化合物、表面活性剂溶解在水中，该混合物再与FeCl₃混合均匀，再将其混合物与硝酸或盐酸混合均匀即可，硝酸加入方式采用将硝酸缓慢加入到含有表面活性剂的混合溶液中；

第四步：将混合物通入过滤器中过滤，得到所述ITO蚀刻液。

9.根据权利要求8所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于：所述强酸性离子交换树脂与所述盐酸和硝酸混合搅拌是在常温常压的状态下进行，搅拌的速度为65~85转/分钟，树脂与盐酸或硝酸的质量比为0.2~0.3，搅拌时间为10分钟。

10.根据权利要求9所述的一种三氯化铁系ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于：所述强酸性阳离子交换树脂为强酸性苯乙烯系阳离子交换树脂。