[发明专利]用于照度传感器的滤光器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于使用光电二极管等光检测元件的半导体照度传感器的滤光器（光学フィルター）的制造方法。为了在例如照明的自动点等控制或调光、液晶显示器的背光控制、便携电话的小键盘的背光控制、在监视摄像机的暗视切换控制等领域中探测周围的照度，使用这种半导体照度传感器。另外，通过与发光元件组合，作为邻近传感器而用于物体的有无、距离的测定。

背景技术

人的可见光是380~780nm的光，其中440~700nm左右是主要的感测波长区域。然而，即使是根据光的颜色（波长）而具有相同的功率的光，人也感到明或者暗。相对地示出人对每个该颜色强烈地感觉到的亮度的是相对能见度特性，在波长为500~600nm的绿色附近具有峰值。

在用于显示器件的背光控制的照度传感器等中，期望具有接近人的能见度特性的分光灵敏度特性。

虽然将光电二极管用于检测可见光的强度的照度传感器，但光电二极管的分光灵敏度特性与人的能见度特性不同。因此，为了接近人的能见度特性，如专利文献1、2那样在光电二极管的表面设置滤光器或多层反射膜，或者如专利文献4、5那样使用灵敏度特性不同的光电二极管根据流动的电流的差进行运算并进行修正。另外，为了提高修正精度，在专利文献2、3中，设置有用于限制入射光的窗。

现有技术文献

专利文献1：日本实开昭61－82230号公报

专利文献2：日本特开2007－48795号公报

专利文献3：日本特开2007－536728号公报

专利文献4：日本特开2006－148014号公报

专利文献5：日本特开2009－238944号公报。

发明内容

然而，在专利文献4、5所示的使用多个光电二极管的方法中，存在着使用多个光电二极管所导致的成本上升和修正精度不足的课题。

在专利文献1所示的使用滤光器的方法中，将由电介质多层膜形成的干涉滤波器用作滤光器，所以成本进一步增加，另外，滤波特性根据光的入射角而变化，所以检测精度仍然不足。

作为对策，在专利文献2、3中，提出了设置用于限制入射光的窗的方法，但不能避免用于制作窗的成本上升。

本发明解决如以上那样的问题点，其目的在于，提供具有接近人的能见度特性的分光特性、检测精度高且能够以低成本制作的用于照度传感器的滤光器的制造方法。

为了达成上述目的，具备：在玻璃板开孔的第一工序；在所述玻璃板的孔配置具有滤光效果且玻璃软化点比所述玻璃基体低的玻璃小片的第二工序；使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序；以及研磨所述玻璃基体的两面而平坦化的第四工序。

另外，所述孔为贯通孔。

另外，将成形法用于所述第一工序。

另外，将喷砂（sand blast）法用于所述第一工序。

另外，将玻璃蚀刻法用于所述第一工序。

另外，所述玻璃小片具有珠（beads）形状。

另外，在使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序中，由板材夹着所述玻璃基体而施加压力。

另外，在使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序之后，添加由平坦的模具夹着所述玻璃基体而在高温下施加压力的工序。

另外，所述玻璃基体的孔为具有阶梯差的锥台形状。

另外，所述玻璃基体的孔为中央部的直径细的鼓形状。

另外，所述玻璃板为具有遮光性的玻璃板。

另外，所述玻璃板为黑色的玻璃板。

另外，所述黑色的玻璃材料含有3~20％的黑色颜料。

本发明的用于照度传感器的滤光器的制造方法包含玻璃的开孔工序、玻璃小片的配置工序、玻璃小片的软化工序及研磨工序，由于全都是简便的制造工序，所以与现有的方式相比能够大幅降低制造成本。另外，通过选择具有接近能见度修正特性的滤波效果的玻璃作为玻璃小片，得到优异的修正特性，并且不像干涉滤波器那样滤波特性根据光的入射角而变化，而且由于设有限制入射光的窗，所以能够廉价地提供精度非常高的照度传感器。

附图说明

图1是示意性地示出使用利用本发明的制造方法的滤光器的照度传感器的构成的截面图及俯视图。

图2是示意性地示出本发明的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。

图3是示意性地示出使用本发明的滤光器的照度传感器的一部分的制造工序的截面图。

图4是示意性地示出本发明的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。

图5是示意性地示出本发明的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。