[发明专利]等离子体反应室及具有其的等离子体装置有效
| 申请号： | 201210220530.8 | 申请日： | 2012-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN103515179A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 武小娟 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应 具有 装置 | ||
1.一种等离子体反应室，其特征在于，包括：
腔体，所述腔体内具有腔室；
静电卡盘，所述静电卡盘设在所述腔体内用于承载衬底；
加热器，所述加热器设在所述腔体上用于加热所述腔体；和
介质窗，所述介质窗设在所述腔体的上端用于封闭所述腔室的顶部开口，所述介质窗内设有加热流体通道。
2.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述加热流体通道均匀地分布在所述介质窗内。
3.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述加热流体通道为涡旋状。
4.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述加热流体通道形成为以所述介质窗的中心为圆心的多个同心环形状。
5.根据权利要求4所述的等离子体反应室，其特征在于，相邻的所述同心环之间的间距相等。
6.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述加热流体通道的进口和出口设在所述介质窗的上表面或侧壁上。
7.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述加热流体通道的进口处连接有进液管且所述加热流体通道的出口处连接有出液管。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的等离子体反应室，其特征在于，在所述介质窗上方设有红外测温装置。
9.根据权利要求1所述的等离子体反应室，其特征在于，所述介质窗为石英窗。
10.一种等离子体装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的等离子体反应室。
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