[发明专利]一种溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法

权利要求书

1.一种用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征在于，包含以下步骤：

a、按铪、铟、锌的摩尔比为2:4:3称量氯化铪，硝酸铟和醋酸锌，依次倒入20ml乙二醇甲醚中在70℃下搅拌一小时至完全溶解，获得摩尔浓度为0.1mol/L的混合均匀的前驱体溶液；然后在逐滴加入稳定剂单乙醇胺，使溶液中离子浓度与单乙醇胺的摩尔比为1，在磁力搅拌的情况下，将配制好的溶液水浴70℃，保温1小时，形成溶胶；

b、将预处理后的玻璃基片粘贴在旋涂机上，将步骤a中所得的溶胶采用旋涂法在40×40mm的玻璃基片上镀膜，转速500rpm持续18±5s，转速2000rpm持续60±5s；

c、将旋涂后的玻璃基片放到150℃热板上烘烤15分钟，然后放入退火炉中升温至400℃退火15分钟；

d、最后在退火炉中加热至400℃退火1小时。

2.根据权利要求1所述的用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征再于，步骤a采用磁力搅拌器进行加温均匀搅拌。

3.根据权利要求1所述的用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征再于，步骤b所述的玻璃基片为康宁公司的EAGLE XG玻璃，用洗洁精清洗几遍后，依次采用去离子水、无水乙醇超声清洗。

4.根据权利要求1所述的用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征再于，步骤b和步骤c重复进行3至5次，以获得不同厚度的薄膜。

5.根据权利要求1所述的用溶胶凝胶法制备铪铟锌氧薄膜的方法，其特征再于，步骤a中溶胶配好后时效24小时以上。