[发明专利]可替换齿部的齿轮结构及应用该齿轮结构的薄膜沉积系统

权利要求书

1.一种可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，包括：

一主体部，包括多个连接座，其中该多个连接座位于该主体部的外缘；及

多个齿部，每一该齿部包括一连接端，通过该连接端耦合至每一该连接座，每一该齿部能够固定于该主体部上。

2.根据权利要求1所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，每一该连接座包括至少一第一卡合部，该连接端包括至少一第二卡合部，且该第一卡合部与该第二卡合部相互卡合。

3.根据权利要求1所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，还包括多个固定单元，且该连接端包括至少一第一凹槽，每一该连接座包括有至少一第二凹槽，其中该多个固定单元插设在该第一凹槽及该第二凹槽内，使得每一该齿部固定在该主体部。

4.根据权利要求3所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，该主体部的表面包括多个穿孔，而该多个固定单元分别穿过该多个穿孔，并插设在该第一凹槽及该第二凹槽内。

5.根据权利要求1所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，该主体部包括叠合的两盘体，且该两盘体之间具有一间隙。

6.根据权利要求5所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，还包括多个固定单元位于该间隙中且邻近该两盘体的外缘，每一该固定单元的两端分别连接该两盘体，以形成该多个连接座。

7.根据权利要求6所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，该连接端包括一凹槽，每一该固定单元可插设在该凹槽内，以固定该多个齿部于该间隙中。

8.根据权利要求6所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，该两盘体的表面分别设置多个穿孔，每一该固定单元可穿过该多个穿孔以连接该两盘体。

9.根据权利要求1所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，该主体部包括有至少一档部，该档部由该主体部的边缘向外延伸，并位于该多个齿部的侧边。

10.根据权利要求1所述的可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，每一该齿部包括有一齿顶及多个齿面，该齿顶的形状为平面或弧面，而该多个齿面的形状为平面、向内凹的曲面或向外凸的曲面。

11.一种薄膜沉积系统，其特征在于，包括：

一载盘，能够绕一第一轴旋转；

一中央齿轮，其中心位于该第一轴上，其中该中央齿轮包括一可替换齿部的齿轮结构；及

多个行星齿轮，位于该载盘上并围绕该中央齿轮，并与该中央齿轮相互啮合，使得每一该行星齿轮可绕一第二轴旋转，且该第一轴不同于该第二轴，其中每一该行星齿轮上放置至少一被沉积物。

12.根据权利要求11所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该可替换齿部的齿轮结构包括：

一主体部，包括多个连接座，其中该多个连接座位于该主体部的外缘；及

多个齿部，每一该齿部包括一连接端，通过该连接端耦合至每一该连接座，每一该齿部能够固定于该主体部上。

13.根据权利要求12所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该多个行星齿轮包括该可替换齿部的齿轮结构。

14.一种薄膜沉积系统，其特征在于，包括：

一载盘，能够绕一第一轴旋转；

一中央齿轮，其中心位于该第一轴上；及

多个行星齿轮，以供放置至少一被沉积物，位于该载盘上并围绕该中央齿轮，并与该中央齿轮相互啮合，使得每一该行星齿轮能够绕一第二轴旋转，且该第一轴不同于该第二轴，其中该多个行星齿轮包括一可替换齿部的齿轮结构。