[发明专利]一种锰钴镍氧线列探测器的微台面制作方法无效
| 申请号： | 201210211471.8 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN102774806A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 黄志明;周炜;张雷博;吴敬;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锰钴镍氧线列 探测器 台面 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种锰钴镍氧线列探测器的微台面制作方法，其特征在于具体步骤如下：
步骤A：取一片在白宝石片上利用化学溶液法制作的，膜厚在6-10微米之间的锰钴镍氧薄膜样品片，进行常规方法清洗、干燥、掩膜光刻；
步骤B：在33℃-36℃的水浴条件下、使用质量分数38%-42%的氢溴酸对薄膜样品进行5.5-6.5分钟的湿法刻蚀、清洗、干燥；
步骤C：干法刻蚀30-60分钟，去胶、清洗、干燥；
步骤D：根据化学溶液法所涉及到的样片的层数估计总膜厚，依据锰钴镍氧薄膜的厚度，重复步骤A、B、C中的各步，直至得到所需探测元台面。
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