[发明专利]籽晶脱胶工艺有效

专利信息
申请号: 201210210841.6 申请日: 2012-06-25
公开(公告)号: CN102723403A 公开(公告)日: 2012-10-10
发明(设计)人: 马莹;刘春艳;张琪 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 何平
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 籽晶 脱胶 工艺
【权利要求书】:

1.一种籽晶脱胶工艺,其特征在于,步骤如下:

冲洗切割后的籽晶;

然后将籽晶置于添加有表面活性剂的环境下进行超声清洗;

再将籽晶放入加有中强酸的70~90℃的热水中进行热水脱胶。

2.根据权利要求1所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述冲洗采用如下方式:用自来水进行冲洗,冲洗水压为0.2~0.25MPa,冲洗时间为20~40min。

3.根据权利要求1所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述籽晶的厚度为10~30mm。

4.根据权利要求1所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述超声清洗采用如下方式:将籽晶放入添加有体积百分比为2%~3%的表面活性剂的超声清洗槽中,超声强度为28~40KHz,温度为25~40℃,超声时间为25~40min。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述表面活性剂为阴离子及非离子表面活性剂中的至少一种。

6.根据权利要求5中所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚及脂肪醇聚氧乙烯醚中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述中强酸按照体积百分比3%~5%的比例添加。

8.根据权利要求1或7所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述热水脱胶过程中辅以超声,超声强度为28~40KHz,超声时间为40~50min。

9.根据权利要求1或7所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,所述中强酸为柠檬酸及乳酸中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的籽晶脱胶工艺,其特征在于,热水脱胶完成后将籽晶取出,擦拭去除籽晶表面的残余物。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,未经江苏协鑫硅材料科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210210841.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top