[发明专利]用于饱和光谱学的简单、低功率的微系统

权利要求书

1.一种用于稳定光束(21)的光谱装置(4，5，6，7，8，9)，所述光谱装置包括：

气体参比室(40)，包围气体(41)并附着于绝热平台(400)，所述气体参比室具有第一光学透明窗口(45)和第二光学透明窗口(46)；

至少一个加热器(601)，用来提高被包围的气体的温度；

分束器(30)，被配置为将激光器(10)发射的输入光束(20)的一部分(21)反射成入射到气体参比室的第一光学透明窗口上，其中输入光束的所反射部分透射通过气体，从反射面(46)被反射，然后再次透射通过气体；以及

检测器(350)被配置为接收两次透射通过气体的光束(26)，其中两次透射通过气体的光束被锁定于被加热气体的饱和吸收光谱(200)的特定的峰值(210)，其中所述检测器被配置为提供反馈信号(50)以稳定所述激光器发射的光束的频率。

2.如权利要求1所述的光谱装置(4，5，6，7，8，9)，其中至少一个加热器(601)被图案化制作在第一光学透明窗口(45)，第二光学透明窗口(46)，气体参比室(40)的第一表面(47)，气体参比室的第二表面(48)，邻近第一光学透明窗口的绝热平台(400)的一部分，以及邻近第二光学透明窗口的绝热平台的一部分中的至少一个上。

3.如权利要求1所述的光谱装置(4，5，6，7，8，9)，进一步包括：

具有透明窗口(415)的壳体(410)，所述壳体被配置为在真空条件下密封绝热平台(400)和气体参比室(40)，所述透明窗口被定位成将输入光束(20)的所反射部分(21)透射到气体参比室并且定位成将两次透射通过气体(41)的光束(25)透射到分束器(30)。