[发明专利]柔性透明导电薄膜及其制造方法和触控面板

说明书

技术领域

本发明关于光电材料技术领域，具体涉及一种能应用于静电电容式触控的柔性透明导电薄膜及其制造方法和触控面板。

背景技术

近年来，人机交互技术不断发展，触控感应装置的生产技术突飞猛进，产能与质量不断提升，价格不断降低，广泛应用于电子产品上，例如被配置在个人数字助理（PDA）、手机、MP3播放器、卫星导航仪（GPS）等中小尺寸电子产品屏幕上的电阻式触控板。这种触摸屏利用压力感应进行控制。电阻触摸屏的主要部分是一块与显示器表面非常配合的电阻屏，这是一种多层的复合薄膜，它以一层玻璃或硬塑料平板作为基层，表面涂有一层透明氧化金属（透明的导电电阻）导电层，上面再盖有一层外表面硬化处理、光滑防擦的塑料层、它的内表面也涂有一层涂层、在他们之间有许多细小的（小于1/1000英寸）的透明隔离点把两层导电层隔开绝缘。 当手指触摸屏幕时，两层导电层在触摸点位置就有了接触，电阻发生变化，在X和Y两个方向上产生信号，然后送触摸屏控制器。控制器侦测到这一接触并计算出（X，Y）的位置，再根据模拟鼠标的方式运作。

静电电容结合方式的触控面板结构大致包括一x轴感应层及一y轴感应层，使x、y轴感应层绝缘的设置该触控板体之内，并将x、y轴感应层分别接地并连接至一控制电路，运作时借助人的手指或其他导体触碰的瞬间产生一电容效应，藉由电容值的变化确定手指或导体的位置；由于电容式触控板可由手指进行输入，具有输入操作的便利性，且其输入操作无须经过触压，不会让面板承受反复应力、变形导致损坏，且这种触控面板的组成构造简单、组件少适合大批量生产降低成本。

传统静电电容结合方式的触控面板采用一片玻璃和二片透明导电膜（G/F/F结构），二片透明导电膜分别经过酸蚀或激光蚀刻制成电极图案后再对位贴合，但是，图案化的透明导电体层的图案部与非图案化部的差异，作为显示元件的外观变差。特别是在静电电容结合方式的触摸面板中，由于透明导电体层被用于入射表面侧，所以在已图案化透明导电体层的情况下，作为显示元件的外观也需要良好。

目前有一些技术用于解决图案化差异的问题，例如通过在柔性基材PET聚酯薄膜至少设有两层底涂层，第一层底涂层的折射率在1.5～1.7，厚度为100～220nm，第二层底涂层的折射率在1.4～1.5，厚度为20～80nm。透明导电体层的折射率在1.9~2.1，厚度为15～30nm。但有以下几点不足：一是第一层底涂层由化学物质混合经过热固化形成光折射率为1.54的树脂，此过程对配比要求高过程复杂且不环保；二是第二层底涂层也是用涂敷法涂敷形成，过程参数控制要求高；三是透明导电体层由反应溅射形成，与底涂层薄膜的制备技术不兼容，使得工艺过程变的很复杂，导致成品率低、成本提高。

发明内容

有鉴于此，提供一种生产工艺流程短、绿色环保、生产效率高、成本低的柔性透明导电薄膜及其制造方法，以解决现有技术产品存在的工艺技术不兼容、环保性差、成本高等问题。

以及，提供一种具有上述柔性透明导电薄膜的触控面板。

一种柔性透明导电薄膜，其包括柔性基材和透明导电氧化物层，所述柔性基材具有相对的第一表面和第二表面，所述柔性基材的第一表面由内到外依次叠设有第一硬涂层、第一层底涂层、第二层底涂层，所述透明导电氧化物层设于所述第二层底涂层上。

一种柔性透明导电薄膜的制造方法，其包括如下步骤：

提供一个柔性基材，所述柔性基材具有相对的第一表面和第二表面；

在所述柔性基材的第一表面涂覆第一硬涂层；

在所述第一硬涂层表面由内到外采用中频反应磁控溅射方法依次连续沉积，一次性形成第一层底涂层、第二层底涂层、透明导电氧化物层，所述第一层底涂层、第二层底涂层、透明导电氧化物层中各层采用独立的空间进行制备，形成所述柔性透明导电薄膜。

以及，一种触控面板，其包括上述的柔性透明导电薄膜。

上述柔性透明导电薄膜和触控面板，在该柔性基材的一面依次由内到外设有硬涂层、作为调整折射率的第一层底涂层和第二层底涂层，透明导电氧化物（如ITO）层，该薄膜在高温高湿环境下具有优良的电阻稳定性，在图案部和非图案部基本无差异，图案不易被发现，外观良好；可广泛应用于静电电容结合方式触控面板的电极制作。