[发明专利]一种生长纯净准单晶的铸锭热场

权利要求书

1.一种生长纯净准单晶的铸锭热场，具有上炉体、下炉体，所述的上炉体、下炉体形成的空腔内设有石英陶瓷坩埚，所述的石英陶瓷坩埚外壁外侧设有侧部主加热器，所述的石英陶瓷坩埚顶部设有顶部主加热器，其特征在于：所述的石英陶瓷坩埚外壁与侧部主加热器之间设有移动式副加热器，所述的移动式副加热器与副加热器电极连接，所述的副加热器电极穿过上炉体与副加热器电极移动装置连接，所述的副加热器电极移动装置安装在上炉体上，所述的副加热器电极移动装置通过副加热器电极带动移动式副加热器上、下移动，所述的移动式副加热器自下向上移动的速度曲线与石英陶瓷坩埚内单晶硅籽晶的长晶速度曲线一致。

2.根据权利要求1所述的一种生长纯净准单晶的铸锭热场，其特征在于：所述的移动式副加热器为环形，所述的移动式副加热器绕石英陶瓷坩埚的外壁壁面一周。

3.根据权利要求2所述的一种生长纯净准单晶的铸锭热场，其特征在于：所述的副加热器电极为沿圆周均匀分布的三根电极棒，三根电极棒均与环形的移动式副加热器连接。

4.根据权利要求1所述的一种生长纯净准单晶的铸锭热场，其特征在于：所述的石英陶瓷坩埚置于石墨坩埚内，所述的石墨坩埚底部设置有石墨助凝块，所述的石墨助凝块由支撑柱支撑，所述的石英陶瓷坩埚内加有硅溶液，所述的石墨坩埚位于底部开口的保温腔侧壁内，所述的侧部主加热器位于保温腔侧壁与石墨坩埚外壁之间，所述的移动式副加热器位于石墨坩埚外壁与侧部主加热器之间，所述的侧部主加热器与顶部主加热器连接有主加热器电极，所述的保温腔侧壁与保温腔底板脱离形成豁口。