[发明专利]用于粒子束设备的高电压源装置

权利要求书

1.用于粒子束设备（11、12）的高电压源装置（100），包括：

用于输送高电压的至少一条高压电缆（101），并且包括

用于测量高电压的至少一个测量装置（105），其中所述测量装置（105）具有至少一个第一电容器（108、132），

其中所述第一电容器由所述高压电缆（101）的至少一个第一部分（108）形成。

2.根据权利要求1所述的高电压源装置（100），其中

所述高压电缆（101）具有至少一个内部导体（109），

所述内部导体（109）被至少一个第一绝缘体（110）围绕，

所述第一绝缘体（110）被至少一个第一屏蔽体（111）围绕，

所述第一屏蔽体（111）在所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）的至少一个第一区域（112）和/或至少一个第二区域（113）中被中断，并且其中

所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）被至少一个第二屏蔽体（119）围绕。

3.根据权利要求2所述的高电压源装置（100），其中所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）沿着所述高压电缆（101）的纵轴（116）延伸，并且具有第一纵向范围，以及其中

所述第一区域（112）沿着所述高压电缆（101）的所述纵轴（116）延伸且具有第二纵向范围，其中所述第一区域（112）的所述第二纵向范围比所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）的所述第一纵向范围小，和/或其中

所述第二区域（113）沿着所述高压电缆（101）的所述纵轴（116）延伸且具有第三纵向范围，其中所述第二区域（113）的所述第三纵向范围比所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）的所述第一纵向范围小。

4.根据权利要求2或3所述的高电压源装置（100），其中

所述内部导体（109）被至少一个第二绝缘体（124）围绕，并且其中

所述第二绝缘体（124）被至少一个第三屏蔽体（125）围绕。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的高电压源装置（100），其中所述高电压源装置（100）具有以下特征中的至少一个：

所述第一屏蔽体（111）被至少一个第一护套（118）围绕，或

在所述高压电缆（101）的所述第一部分（108）中，第二屏蔽体（119）被至少一个第二护套（120）围绕。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的高电压源装置（100），其中

所述第一屏蔽体（111）处于接地电势，和/或

所述第二屏蔽体（119）处于接地电势。

7.根据上述权利要求中任一项所述的高电压源装置（100），其中

所述高压电缆（101）具有在10pF/m至1000pF/m的范围内的每单位长度的电容，或

所述高压电缆（101）具有在50pF/m至500pF/m的范围内的每单位长度的电容，或

所述高压电缆（101）具有在80pF/m至250pF/m的范围内的每单位长度的电容。

8.根据上述权利要求中任一项所述的高电压源装置（100），其中所述测量装置（105）具有至少一个电容分压器（121），其中所述电容分压器（121）包括所述第一电容器（108）和至少一个第二电容器（122）。

9.根据上述权利要求中任一项所述的高电压源装置（100），其中所述测量装置（105）具有用于测量所述高电压的至少一个测量电阻（123）。

10.根据权利要求9所述的高电压源装置（100），其中所述测量电阻布置在电压测量单元（107）中。

11.根据上述权利要求中任一项所述的高电压源装置（100），其中

所述高压电缆（101）包括至少一个第二部分（132），并且

所述第一部分（108）离开所述第二部分（132）一距离。

12.根据权利要求11所述的高电压源装置（100），其中所述第二部分（132）实施为与所述第一部分（108）相同。

13.根据上述权利要求中任一项所述的高电压源装置（100）用于测量高电压的波动和/或用于产生用来调节所述高电压源装置（100）的测量信号的用途。