[发明专利]利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法无效
| 申请号： | 201210204173.6 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102691093A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 韩晓军;毕洪梅;王磊;刘丹青 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C25F3/12 | 分类号： | C25F3/12;C25F3/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 电化学 技术 实现 氧化 表面 快速 腐蚀 图案 方法 | ||
1.利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述方法如下：
（1）ITO表面清洗：ITO玻璃片经乙醇和蒸馏水分别超声清洗后氮气吹干，经等离子清洗机处理待用；
（2）通过塑封机将所用光刻胶在ITO基底上压成保护膜，直接放置所用图案的掩膜，经过紫外曝光显影，定型洗涤后形成所需图案；
（3）利用电化学技术，以稀盐酸为腐蚀液，采用循环伏安法或计时电流法对ITO表面进行光刻胶外裸露ITO部分的腐蚀；
（4）经电化学腐蚀后的ITO玻璃片经碱溶液洗涤，除去保护的光刻胶膜，N2吹干，得到图案化的ITO表面。
2.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（2）中，光刻胶为AM175或AM150。
3.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（2）中，紫外曝光显影时间为2～5s。
4.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（2）中，定型温度为65℃，时间为4～10 min；洗涤时间为7～15s。
5.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（3）中，腐蚀液为体积比为1:5的稀盐酸溶液。
6.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（3）中，采用循环伏安法时，扫描电压范围为﹣0.1～0.6V，扫速为0.1V/s，时间为5min。
7.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（3）中，采用计时电流法时，扫描电压为﹣2V，扫速为0.01V/s，时间为2min。
8.根据权利要求1所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述步骤（4）中，碱溶液洗涤时间为2～8min。
9.根据权利要求1或8所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述碱溶液为Na2CO3溶液。
10.根据权利要求9所述的利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述Na2CO3溶液质量百分比浓度为1～4%。
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