[发明专利]一种衍射棱锥波前传感器

权利要求书

1.一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：包括衍射棱锥（1）、成像透镜（2）、光电探测器（3）和聚焦透镜（4）；所述聚焦透镜（4）、衍射棱锥（1）、成像透镜（2）和光电探测器（3）依次放置，所述衍射棱锥（1）的棱锥顶点位于聚焦透镜（4）的焦平面位置，衍射棱锥（1）为圆形底面具有四个棱面的锥体，棱锥顶点位于圆形底面圆心的正上方，四个棱面对称分布，每个棱面由微光学加工技术加工成多台阶相位光栅，衍射棱锥（1）的四个棱面为衍射面，入射波经聚焦透镜（4）落在衍射棱锥（1）的顶点被分成四个子光束衍射，通过成像透镜（2）成像至光电探测器（3），在光电探测器（3）四个象限上形成四个子光瞳像。

2.根据权利要求1所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：在所述的聚焦透镜（4）前放置合束镜（5），从激光平行光源（6）出射的参考光经合束镜（5）与入射光合成一束光，然后再经聚焦透镜（4）汇聚在衍射棱锥（1）的顶点。

3.根据权利要求1所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：在所述的衍射棱锥（1）的底面加上棱锥动态调制器（7），驱动衍射棱锥（1）的顶点做上下扫描。

4.根据权利要求1至3任一权利要求所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：所述衍射棱锥（1）的棱锥顶点到成像透镜（2）的光程等于成像透镜（2）的焦距。

5.根据权利要求1至3任一权利要求所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：所述光电探测器（3）与成像透镜（2）的距离等于成像透镜（2）的焦距。

6.根据权利要求1至3任一权利要求所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：所述衍射棱锥（1）棱面的多台阶相位光栅的相位结构用2π或2π的整数倍进行量化。

7.根据权利要求1至3任一权利要求所述的一种衍射棱锥波前传感器，其特征在于：所述光电探测器（3）为CCD相机或CMOS相机。