[发明专利]靶材的处理方法有效
| 申请号： | 201210199632.6 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103481199A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;高建 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/06 | 分类号： | B24C1/06;B24C5/02;B24C11/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
1.一种靶材的处理方法，其特征在于，包括：
提供靶材，所述靶材的溅射面包括喷砂区域和非喷砂区域；
对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理，所述喷砂处理包括：进行重力式喷砂处理后进行直压式喷砂处理。
2.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，在对靶材进行喷砂处理之前还包括：对所述靶材进行抛光，然后进行去油作业。
3.如权利要求2所述的处理方法，其特征在于，采用砂纸进行所述抛光。
4.如权利要求2所述的处理方法，其特征在于，采用异丙醇进行去油作业。
5.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，在对靶材进行喷砂处理之前还包括：对靶材的非喷砂区域进行遮蔽作业。
6.如权利要求5所述的处理方法，其特征在于，采用遮蔽胶带对非喷砂区域进行遮蔽作业。
7.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述重力式喷砂处理采用重力式喷砂机，其中，重力式喷砂机的喷砂枪的气压为3~6MPa，砂材的型号为WA300~100，靶材和喷砂枪的距离为10~30cm。
8.如权利要求7所述的处理方法，其特征在于，所述重力式喷砂处理时，靶材转动，喷砂枪固定。
9.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述直压式喷砂处理采用直压式喷砂机，直压式喷砂机的喷砂枪的气压为3~6MPa，砂材的型号为WA60~24，靶材和喷砂枪的距离为10~30cm。
10.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述重力式喷砂处理之后、直压式喷砂处理之前，还包括：采用气枪吹掉所述靶材上残余的砂材。
11.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，在直压式喷砂处理之后，还包括：对喷砂区域进行粗糙度测量。
12.如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，一次或多次进行所述喷砂处理至所述粗糙度测量的结果符合要求。
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