[发明专利]无振动棒的金属靶发生器有效
申请号: | 201210198836.8 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN102736450A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李小平;苗怀坤;陈学东 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李佑宏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 金属 发生器 | ||
1.一种无振动棒的金属靶发生器,其包括:
筒体,该筒体内容置有液态金属(6),用于产生金属靶;
微孔(10),开设在筒体底部,所述金属液体(6)可通过该微孔(10)流出;
其特征在于,该金属靶发生器还包括电磁线圈(9,15,37,38),其通电后产生电磁力并作用在液体金属(6)上,使得从所述微孔(10)流出的液体呈均匀滴落,形成金属靶。
2.根据权利要求1所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述电磁线圈(9)通入为变化的电流,以产生一定频率的行波磁场,该行波电磁场对微孔(10)中的液态金属产生轴向扰动,使所述微孔(10)流出的液体在该扰动下断裂为均匀的金属靶。
3.根据权利要求2所述的所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述电磁线圈(9)设置在筒体下部的外周面上,位于液态金属(6)四周,和/或设置于筒体底部,位于微孔(10)四周。
4.根据权利要求1所述的所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,通过所述电磁线圈(9)对所述微孔(10)中的液态金属(6)施加旋转磁场,使所述金属液在旋转磁场作用下流向翻转,并通过控制所述旋转磁场的闭合与开通的频率,实现使从所述微孔(10)流出的金属液体(6)为均匀滴落的金属靶。
5.根据权利要求4所述的所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述微孔(10)凸出筒体底部,并向外延伸形成管型通道,所述电磁线圈(9,38)设置在凸起的微孔通道(10)外壁上并与筒体磁隔离。
6.根据权利要求4或5所述所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,在所述筒体底部上对称于微孔(10)设置有电磁线圈(37)。
7.根据权利要求5或6所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述设置在凸起的微孔通道(10)外壁上的电磁线圈(9,38)为两组,两者通过隔板(39)磁隔离。
8.根据权利要求6或7所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述筒体上方盖有上顶盖(1),将容置有液态金属(6)的筒体内部形成密闭空间,且该上顶盖(1)上开有气体入口(2)和气体出口(3),用于为发生器筒体内通入保护气体,以控制筒体内的压强从而推动液态金属从微孔(10)均匀滴落。
9.根据权利要求1-8之一所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,还包括用于检测筒内压力的压力传感器(12)和检测筒内温度的温度传感器(4),其分别与压力控制系统(13)和温度控制系统(5)连接,用于控制筒体内的压力和温度。
10.根据权利要求1-9之一所述的一种无振动棒的金属靶发生器,其特征在于,所述微孔(10)通道包括依次相邻的入口区(16)、压缩区(17)、定径区(18)、减压区(19)和出口区(20),其中入口区(16)和压缩区(17)均呈喇叭状,口径逐渐缩小且入口区(16)最小口径与压缩区(17)最大口径相等,定径区(18)口径保持不变并于压缩区(17)最小口径相等,减压区(19)和出口区(20)同样均呈喇叭状,口径逐渐扩大,且减压区(19)最小口径与定径区(18)口径相等,减压区(19)最大口径与出口区(20)最小口径相等。
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