[发明专利]一种背面对准装置及背面对准基底贴片方法

权利要求书

1.一种背面对准装置，包括对准光源、对准物镜，支撑基底的卡盘，所述基底背面设有对准标记，以及贴附于所述基底背面的附着层，其特征在于，所述附着层在对应于所述基底的背面对准标记的位置处设置有开口以露出所述对准标记，所述对准光源发出的光穿过该开口直接入射至所述基底的背面的对准标记上。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述对准光源为可见光源或红外光源。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述对准光源为红外光源时，所述对准光源置于所述基底的背面一侧，所述对准物镜置于所述基底的正面一侧，在所述卡盘中对应所述对准标记位置处设有开口，从所述红外光源发出的光经所述卡盘的开口和所述附着层的开口直接入射至所述基底的对准标记上。

4.根据权利要求2所述的背面对准标记，其特征在于，所述对准光源为可见光源时，所述对准光源与对准物镜置于所述基底的正面一侧，所述背面对准装置还包括一光学组件，设置在所述卡盘内，用于将所述可见光源发出的光引导至所述对准标记。

5.如权利要求1所述的背面对准标记，其特征在于，所述附着层为载片或蓝膜。

6.用于形成权利要求5中的贴附有蓝膜的基底的方法，包括：

步骤一、选择蓝膜材料；

步骤二、按基底形状切割蓝膜；

步骤三、将所切出的蓝膜内对应基底背面对准区域的部分切除形成开口；

步骤四、将蓝膜通过贴膜机粘合到基底上，将背面对准区域和蓝膜开口位置对准；

步骤五、将所贴蓝膜基底上传曝光。

7.用于形成权利要求5中的贴附有载片的基底的方法，包括：

步骤一、选择载片材料；

步骤二、在载片上的对应于硅片基底背面对准区域的位置形成开口；

步骤三、将载片键合到基底上；

步骤四、将键合有载片的基底上传曝光。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述载片材料为玻璃、硅或铜。