[发明专利]夹持装置、组件和光刻投影设备

权利要求书

1.一种夹持装置，构造和布置用于将两个部件夹持在一起，所述夹持装置包括：

对准器，构造和布置用于将所述两个部件相对于彼此设置在对准位置；

夹持器，构造和布置用于将所述两个部件保持在对准位置；

分离器，构造和布置用于引导所述两个部件离开对准位置至分离位置；以及

致动器，构造和布置用于将电流转化成动能，其中所述对准器、夹持器以及分离器被构造和布置成被致动器驱动。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其中，所述夹持装置被构造成被固定至所述两个部件中的一个部件，其中所述对准器包括可转动构件，其中所述致动器被构造和布置用于转动可转动构件，所述可转动构件设置有凸起或者边缘，以与两个部件中的另一部件的凹陷协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置，或者所述可转动构件设置有凹陷，以与两个部件中的另一部件的凸起协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其中，所述凹陷是凹槽。

4.根据权利要求3所述的夹持装置，其中，所述凹槽是V形凹槽。

5.根据前述任一权利要求所述的夹持装置，其中，所述夹持器包括能够偏心地转动的可转动装置，所述致动器被构造和布置用于通过使可转动装置转动至夹持位置而使两个部件彼此压靠。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其中，所述可转动装置包括圆柱形构件。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其中，所述可转动装置设置有圆柱形外壳，所述外壳能够相对于圆柱形构件转动。

8.根据权利要求7所述的夹持装置，其中，所述可转动装置包括在圆柱形构件与圆柱形外壳之间的轴承。

9.根据权利要求8所述的夹持装置，其中，所述轴承是滚柱轴承。

10.根据权利要求5-9中任一项所述的夹持装置，其中，所述夹持器被构造和布置成被固定至两个部件中的一个部件，其中所述对准器包括可转动构件，其中所述致动器被构造和布置用于转动可转动构件，所述可转动构件设置有凸起，以与两个部件中的另一个部件的凹陷协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置中，或者所述可转动构件设置有凹陷，以与两个部件中的另一部件的凸起协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置中，并且其中所述可转动构件设置有运载装置，所述运载装置被构造和布置用于将可转动装置运载至夹持位置。

11.根据权利要求10所述的夹持装置，其中，所述可转动装置耦接至凸轮，所述凸轮被布置用于转动可转动装置，并且其中所述运载装置是凹陷，所述凹陷被构造和布置用于卡住凸轮并且将凸轮带入其中可转动装置处于夹持位置的位置处。

12.根据权利要求5-11中任一项所述的夹持装置，其中，所述分离器包括提升构件，所述提升构件被构造和布置用于使两个部件彼此分离开。

13.根据权利要求12所述的夹持装置，其中，所述分离器包括限制构件，所述限制构件被构造和布置用于在提升构件使两个部件彼此分离开时限制两个部件之间的间距。

14.根据权利要求12或13所述的夹持装置，其中，所述分离器包括一个或更多个另外的可转动装置，所述另外的可转动装置被构造和布置用于推压提升构件，以便提升构件将两个部件彼此分离开。

15.根据权利要求14所述的夹持装置，其中，所述对准器包括可转动构件，所述可转动构件设置有凸起，以与两个部件中的第一部件的凹陷协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置中，或者所述可转动构件设置有凹陷，以与两个部件中的第一部件的凸起协同操作，从而通过可转动构件的转动使两个部件处于对准位置中，其中所述致动器被构造和布置成旋转可转动构件，且其中所述可转动构件设置有运载装置，所述运载装置被构造和布置用于运载一个或更多个另外的可转动装置，以推压提升构件，以便提升构件使两个部件彼此分离开。

16.一种组件，包括照射系统、辐射源和根据前述任一项权利要求所述的夹持装置，所述夹持装置用于将照射系统和辐射源夹持在一起。

17.一种光刻投影系统，包括根据权利要求16所述的组件。