[发明专利]一种基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法

权利要求书

1.一种基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法，其特征在于：在具有剪切增稠效应的非牛顿流体中添加磨粒或微粉制备非牛顿流体抛光液；其中，非牛顿流体占抛光液质量的50%~90%，磨粒或微粉占抛光液质量的10%~50%，磨粒或微粉的粒径范围为：0.05-50μm；

抛光过程中，工件与所述的抛光液之间做相对运动，所述抛光液与工件接触部分受剪切作用会发生剪切增稠现象，接触区域的抛光液的粘度增大，增强了对磨粒或微粉的把持力，抛光液中具有抛光作用的磨粒或微粉对工件产生微切削作用或化学机械作用实现工件表面材料的去除，从而实现对工件表面的抛光。

2.如权利要求1所述的基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法，其特征在于：所述的具有剪切增稠特性的非牛顿流体为以下之一：（1）聚乙二醇和硅微粒组成的非牛顿流体、（2）多羟基醛高聚体和水组成的非牛顿流体。

3.如权利要求1或2所述的基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法，其特征在于：所述的磨料或微粉为以下一种或两种以上混合物：金刚石、立方氮化硼、碳化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铈、氧化硅、氧化铁、氧化锆、氧化钛、氧化铬、氧化铜、氧化钼或氧化铱。

4.如权利要求1或2所述的基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法，其特征在于：所述的抛光液还包括化学活性剂，所述的化学活性剂是碱、酸、盐、金属氧化物、非金属氧化物或以上几种的混合物；活性剂占抛光液质量的0-20%。

5.如权利要求1或2所述的基于非牛顿流体剪切增稠效应的超精密曲面抛光方法，其特征在于：所述的工件与抛光液的相对运动为旋转运动、直线运动或以上两种运动的复合运动。