[发明专利]基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计无效
| 申请号: | 201210192794.7 | 申请日: | 2012-06-12 |
| 公开(公告)号: | CN102707091A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
| 发明(设计)人: | 张文涛;侯跃峰;李芳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | G01P15/18 | 分类号: | G01P15/18;G01P15/03 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
| 地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 悬臂梁 光栅 光纤 矢量 加速度计 | ||
1.一种基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,该光纤矢量加速度计包括外壳(1)、第一小孔(2)、第一光纤光栅(3)、第二光纤光栅(4)、第二小孔(5)、质量块(6)、悬臂梁(7)和支座(8),其中:
外壳(1)用于作为该光纤矢量加速度计的支撑结构,在该外壳(1)相邻的两个侧壁上开有第一小孔(2)和第二小孔(5),第一小孔(2)用于固定第一光纤光栅(3)并引出其尾纤,第二小孔(5)用于固定第二光纤光栅(4)并引出其尾纤;
第一光纤光栅(3)的一端与质量块(6)固定连接,另一端与第一小孔(2)固定连接;第二光纤光栅(4)的一端与质量块(6)固定连接,另一端与第二小孔(5)固定连接;
悬臂梁(7)的一端通过支座(8)固定于该外壳(1)的一个侧壁,另一端与质量块(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述外壳(1)具有沿顺时针方向排列的第一侧壁(m)、第二侧壁(n)、第三侧壁(p)和第四侧壁(q),所述第一小孔(2)位于所述第一侧壁(m),所述第二小孔(5)位于所述第二侧壁(n)。
3.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述第一光纤光栅(3)平行于所述第二侧壁(n)和所述第四侧壁(q),用于测量X轴向加速度。
4.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述第二光纤光栅(4)平行于所述第一侧壁(m)和所述第三侧壁(p),用于测量Y轴向加速度。
5.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述支座(8)安装于所述第四侧板(q)上,用于固定悬臂梁(7)。
6.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述悬臂梁(7)的一端通过支座(8)固定于所述第四侧板(q)上,用于将振动信号传递给所述第一光纤光栅(3)和所述第二光纤光栅(4)。
7.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述质量块(6)安装于所述悬臂梁(7)另一端,用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和共振频率。
8.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述第一光纤光栅(3)的一端和所述第二光纤光栅(4)的一端固定于所述质量块(6)的同一点,并相互垂直,具有一定的初始应力。
9.根据权利要求1所述的基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,其特征在于,所述悬臂梁(7)与所述第一光纤光栅(3)应保持一定角度而非垂直或共线。
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