[发明专利]硅片预清洗方法无效
| 申请号： | 201210190813.2 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN102698989A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈志军 | 申请（专利权）人： | 协鑫阿特斯（苏州）光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/02;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片预清洗方法，其特征在于，对切割后的硅片首先进行浸泡处理，浸泡结束后进行喷淋。
2.根据权利要求1所述的硅片预清洗方法，其特征在于，浸泡在水中进行，时间为190~400秒。
3.根据权利要求1所述的硅片预清洗方法，其特征在于，根据浸泡硅片的数量预先设定浸泡频次，当所浸泡硅片数量达到预先设定的频次后，将浸泡产生的砂浆水抽取并收集。
4.根据权利要求3所述的硅片预清洗方法，其特征在于，使用隔膜泵抽取浸泡产生的砂浆水。
5.根据权利要求1所述的硅片预清洗方法，其特征在于，所述喷淋采用水加压喷出水雾的方式。
6.根据权利要求1所述的硅片预清洗方法，其特征在于，喷淋完成后进行以下步骤：超声溢流及脱胶。
7.根据权利要求6所述的硅片预清洗方法，其特征在于，在两个清洗槽中各进行一次所述超声溢流步骤。
8.根据权利要求6所述的硅片预清洗方法，其特征在于，在两个清洗槽中各进行一次所述脱胶步骤。
9.根据权利要求6所述的硅片预清洗方法，其特征在于，所述脱胶步骤具体为把硅片放入在70~80℃的添加有脱胶剂的水溶液中，通气使水溶液鼓泡。
10.根据权利要求9所述的硅片预清洗方法，其特征在于，所述脱胶剂为草酸或乳酸。
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