[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：

卡盘台，其保持被加工物；

激光光线照射单元，其对保持在该卡盘台上的被加工物照射脉冲激光光线，该激光光线照射单元包括：脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光；重复频率调整单元，其调整该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光的重复频率；以及聚光物镜，其对该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光进行会聚而照射到保持在该卡盘台上的被加工物；

变焦透镜，其具有压电元件，且焦距根据通过该压电元件生成的高频的周期而变化，该变焦透镜配置在该脉冲激光振荡器与该聚光物镜之间；

高频电流频率调整单元，其调整施加在该压电元件上的高频电流的频率；以及

控制单元，其对该重复频率调整单元及该高频电流频率调整单元进行控制，

该控制单元以在由该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光的重复频率与施加在该变焦透镜的该压电元件上的高频电流的频率之间产生相位差的方式控制该重复频率调整单元及该高频电流频率调整单元。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该变焦透镜由配设在光轴上的第1变焦透镜和第2变焦透镜构成，

该控制单元以施加在该第1变焦透镜的压电元件上的高频电流与施加在该第2变焦透镜的压电元件上的高频电流形成180度的相位差的方式进行控制。