[发明专利]一种照明均匀性补偿装置

权利要求书

1.一种照明均匀性补偿装置，其特征在于包括：沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件；每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对，各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分均匀性的目的；所述补偿单元为插入照明视场一端的做成多边形或弧形结构的薄板。

2.根据权利要求1所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述补偿单元为长条形的薄板，插入照明视场的一端为多边形的形状。

3.根据权利要求2所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述补偿单元的多边形插入端，每一边占整个补偿单元宽度的尺寸为1/2、1/3或1/4等比例；每一边的倾斜角位于0~90°之间。

4.根据权利要求1所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为切角矩形的形状。

5.根据权利要求4所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述切角矩形补偿单元的每个切角占整个补偿单元宽度的尺寸为1/2或1/3、1/4等比例；每个切角的倾斜角位于0~90°之间。

6.根据权利要求1所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为弧形的形状，其弧度根据实际需要确定。

7.根据权利要求1至6之一所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于：所述第一、第二补偿组件中，其所有的补偿单元在补偿平面上均为两层排布，上层补偿单元遮盖下层相邻两补偿单元之间形成的间隙，下层补偿单元也同时遮盖上层相邻两补偿单元之间形成的间隙。

8.根据权利要求1至6之一所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于，所述第一和第二补偿组件完全对称，分布在照明视场两边，第一、第二补偿组件上对应的补偿单元组成一补偿单元对，其运动方式完全对称，即插入照明视场时间一致，插入量相等，方向相反。

9.根据权利要求7所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于，所述第一和第二补偿组件完全对称，分布在照明视场两边，第一、第二补偿组件上对应的补偿单元组成一补偿单元对，其运动方式完全对称，即插入照明视场时间一致，插入量相等，方向相反。

10.根据权利要求1至6之一所述的照明均匀性补偿装置，其特征在于，所述补偿单元所使用的材料及材料的透过率分布完全相同，可以由不透明材料，也可以由具有一定透过率的材料制作，此时透过率沿补偿单元的插入方向服从一定的函数分布，但其透过率不能为1，即不能采用完全透光的材料。