[发明专利]用于半导体封装制造的烤箱及其工作方法有效
申请号: | 201210187689.4 | 申请日: | 2012-06-08 |
公开(公告)号: | CN103474372A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 廖明俊;赵亮;陈建华;蒋秦苏 | 申请(专利权)人: | 矽品科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F26B25/00 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陆明耀;姚姣阳 |
地址: | 215123 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 半导体 封装 制造 烤箱 及其 工作 方法 | ||
1. 一种用于半导体封装制造的烤箱,包括箱体和控制烤箱工作过程的控制装置,所述控制装置包括一温控器以及一端连接所述温控器并用于设定温度的记录器AL1,所述记录器AL1另一端连接继电器RY6,所述继电器RY6的控制端则连接有一通电控制开关,其特征在于:
所述温控器的另一端还连接有用于设定温度的记录器AL2,所述记录器AL2的一端连接继电器RY7,所述继电器RY7的控制端连接一报警器装置,所述控制烤箱工作过程的控制装置还包括一风扇开关控制装置,所述风扇开关控制装置一端连接送风计时器,所述送风计时器与继电器RY8的一端连接,所述继电器RY8的另一端连接至继电器RY6。
2.根据权利要求1所述的用于半导体封装制造的烤箱,其特征在于:所述记录器AL1的一端还连接有继电器RY3,所述继电器RY3的另一端接连一恒温计时器。
3.根据权利要求1所述的用于半导体封装制造的烤箱,其特征在于:所述通电开关装置的另一端连接至烤箱加热器。
4.根据权利要求2所述的用于半导体封装制造的烤箱,其特征在于:所述风扇开关控制装置另一端连接至风扇。
5.一种如权利要求1所述的用于半导体封装制造的烤箱的工作方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤一、升温阶段,关闭烤箱磁门,开启烤箱内加热装置,使烤箱内的温度朝所述记录器AL1设定的温度值升高;
步骤二,恒温阶段,当烤箱内的温度升至所述记录器AL1设定的温度值,所述继电器RY6控制所述通电控制开关断开,烤箱加热器停止加热,对烤箱内的产品进行恒温烘干,同时所述恒温计时器开始根据设定所需烘烤的时间进行倒计时;
步骤三、烘烤完毕或温度异常阶段,
烘烤完毕:烤箱内恒温状态下,当所述恒温计时器倒计时结束,烘烤完毕;
温度异常阶段:烤箱内出现温度非恒温异常,当温度升高至所属记录器AL2设定的温度值时,所述继电器RY7控制报警器装置报警,此时使风扇开关装置打开,控制风扇向烤箱内送风和所述送风计时器开始计时,同时所述继电器RY8控制所述继电器RY6失效。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽品科技(苏州)有限公司,未经矽品科技(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210187689.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:电镀机收料装置
- 下一篇:一种基于有机基板技术的封装工艺及封装结构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造