[发明专利]一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置及方法

权利要求书

1.一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置，其特征在于：所述装置包含有激光器（1），所述激光器（1）发射的激光经光闸（2）和扩束镜（3）后入射到半透半反镜（4）的表面，经半透半反镜（4）反射的激光经光学扫描系统后垂直射向平台（9），经半透半反镜（4）透射后的激光经全反射镜（5）反射后再经光学扫描系统后垂直射向平台（9）。

2.如权利要求1所述一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置，其特征在于：所述光学扫描系统包含有振镜系统（6）和聚焦镜（7），进入光学扫描系统的激光经振镜系统（6）后再经聚焦镜（7）聚焦出射。

3.如权利要求1或2所述一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置，其特征在于：所述半透半反镜（4）与入射激光的光路呈45°，所述全反射镜（5）与入射到其表面的激光的光路呈45°。

4.如权利要求1或2所述一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置，其特征在于：所述平台（9）上方设置有CCD成像系统（11），所述平台（9）上方的左右两侧设置有吹气装置（8），所述平台（9）的下方设置有集尘装置（10）。

5.一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的方法，其特征在于：所述方法包含有以下步骤：

步骤一：启动如权利要求1所述的一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的装置，两路激光同时射向平台（9）上的待切割玻璃；并通过光学扫描系统将两路激光分别聚焦在玻璃的下表面；

步骤二：激光在玻璃的下表面按所需图形进行行走，使得聚光点处、聚光点邻近区域或者同时在聚光点处和聚光点邻近区域的玻璃气化、熔化或同时发生气化和融化，从而在玻璃的下表面上形成起始热去除区，并使起始热去除区在所述玻璃下表面上沿预定路径连续分布从而形成起始热去除线，多条起始热去除线横向叠加形成起始热去除道；

步骤三：激光在步骤二中新形成的起始热去除道附近聚光，使得聚光点处、聚光点邻近区域或者同时在聚光点处和聚光点邻近区域的玻璃气化、熔化或同时发生气化和融化，从而形成后续热去除区，并使后续热去除区沿预定路径连续分布从而形成后续热去除线，多条后续热去除线横向叠加形成后续热去除道； 

步骤四：每层的玻璃去除完成后，将聚焦的激光焦点逐渐由下往上移动，随后重复步骤二和步骤三，直至逐层去除玻璃到玻璃的中部；

步骤五：将聚焦的激光焦点移动至玻璃的上表面，进行步骤二和步骤三；

步骤六：随后将聚焦的激光焦点逐渐由上往下运动，重复进行步骤二和步骤三逐层去除玻璃直至玻璃中部；

步骤七：将玻璃中部的玻璃去除，实现玻璃的切穿。

6.如权利要求5所述一种超短脉冲双光路激光异形切割玻璃的方法，其特征在于：在进行步骤二和步骤三的同时，位于平台（9）上方的吹气装置（8）对玻璃的上表面进行冷却以防止玻璃上表面剩余的薄层由于热积累而破裂；同时加工过程中的玻璃残渣在重力的作用下落入位于平台（9）下方的集尘装置（10）中。